中国石油申请MEMS气体传感器及其制备方法专利，兼具优异的低浓度气体监测灵敏度、高浓度气体耐受稳定性以及优异的抗干扰性与响应速度

国家知识产权局信息显示，中国石油天然气集团有限公司;中国石油集团工程材料研究院有限公司;西安三环石油管材科技有限公司申请一项名为“一种MEMS气体传感器及其制备方法”的专利，公开号CN121231572A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本发明提供一种MEMS气体传感器及其制备方法，MEMS气体传感器包括层叠设置的绝缘衬底、加热电极、绝缘层、测试单元；测试单元包括测试电极、敏感单元和选择性分离膜；敏感单元具有由多个间隔设置的纳米线形成的纳米线阵列结构，选择性分离膜覆盖在敏感单元和凹部的表面；其中，纳米线包含第一金属和第二金属，第一金属为Pd，第二金属选自Ni、Cu、Ag、Au、Ir中的至少一种；选择性分离膜包括依次层叠设置的内层分离膜和外层分离膜；内层分离膜包含聚四氟乙烯；外层分离膜为以共价有机框架材料为填料、自具微孔聚合物为基质的混合基质膜，该MEMS气体传感器兼具优异的低浓度气体监测灵敏度、高浓度气体耐受稳定性以及优异的抗干扰性与响应速度。

天眼查资料显示，中国石油天然气集团有限公司，成立于1990年，位于北京市，是一家以从事石油和天然气开采业为主的企业。企业注册资本48690000万人民币。通过天眼查大数据分析，中国石油天然气集团有限公司共对外投资了107家企业，参与招投标项目5000次，财产线索方面有商标信息1447条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可28个。

中国石油集团工程材料研究院有限公司，成立于2021年，位于西安市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本67911万人民币。通过天眼查大数据分析，中国石油集团工程材料研究院有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目1677次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息837条，此外企业还拥有行政许可16个。

西安三环石油管材科技有限公司，成立于1992年，位于西安市，是一家以从事石油、煤炭及其他燃料加工业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安三环石油管材科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目147次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息212条，此外企业还拥有行政许可39个。

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本文源自：市场资讯

作者：情报员