北京
国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“激光退火断点补扫方法、装置、电子设备及激光退火设备”的专利，公开号CN121237642A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体工艺技术领域，提供一种激光退火断点补扫方法、装置、电子设备及激光退火设备，该方法在接收到目标对象的激光退火工艺的报警信息或异常信息的情况下，控制激光器关停，并记录运动台系统的当前位置信息，可以为后续补扫提供起始位置信息。在确定激光器关停的情况下，控制运动台系统停止运动，避免激光器持续照射目标对象产生热累积。利用运动台系统的当前位置信息，结合激光退火工艺的原始配方，自动生成激光退火工艺的断点补扫配方，可以提高生成效率，减少生成误差。在接收目标对象的断点补扫信号的情况下，利用断点补扫配方，从目标对象的激光退火工艺的断点位置信息开始，对目标对象进行断点补扫，可以提高补扫结果的准确性。
天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本27466.9348万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目111次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息655条，此外企业还拥有行政许可95个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
