国家知识产权局信息显示,拓荆科技股份有限公司申请一项名为“传送晶圆的方法和机械手臂”的专利,公开号CN121237707A,申请日期为2020年12月。
专利摘要显示,本申请涉及一种传送晶圆的方法和机械手臂。所述方法包括:将第一晶圆提供到机械手臂的手指部前端;伸展所述机械手臂到第一长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到第一处理腔室中的第一处理位置;将所述第一晶圆放置于所述第一处理位置;收缩所述机械手臂使所述机械手臂的所述手指部前端移出所述第一处理腔室;将第二晶圆提供到所述机械手臂的所述手指部前端;伸展所述机械手臂到第二长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到所述第一处理腔室中的第二处理位置,其中所述第二长度不同于所述第一长度;以及将所述第二晶圆放置于所述第二处理位置。
天眼查资料显示,拓荆科技股份有限公司,成立于2010年,位于沈阳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本27972.9118万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆科技股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目104次,财产线索方面有商标信息91条,专利信息732条,此外企业还拥有行政许可35个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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