北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于排气偏置的方法和设备”的专利，公开号CN121237681A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本技术的各种实施例可以提供设置在排气板和反应室之间的流动控制环，流动控制环包括多个区段，其中多个区段由第一四分之一区段、第二四分之一区段、第三四分之一区段和第四四分之一区段组成，并且其中第二区段、第三区段和第四区段具有第一高度，并且第一区段具有大于第一高度的第二高度。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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