北京
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国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“碗状件及基板处理设备”的专利，公开号CN121237676A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本公开提供碗状件及基板处理设备。碗状件包括：碗状件主体，设置成围绕支承并且旋转基板的支承单元，并且具有形成在所述碗状件主体的下部分中的排气管，以连接到设置在所述碗状件主体的下侧中的排气管道；以及出口引导件，形成在所述排气管的下部分中，并且具有形成在所述排气管道的朝向排气部分定向的延伸方向上的出口开口，以便将引入到所述排气管中的气体从所述碗状件主体引导到所述排气管道的所述排气部分。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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