北京
国家知识产权局信息显示，无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种无图案晶圆表面缺陷的微分干涉检测装置及检测方法”的专利，公开号CN121207997A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种无图案晶圆表面缺陷的微分干涉检测装置及检测方法，是由激光光源透镜耦合进光纤，依次经过准直器、半波片和扩束器后，经分光棱镜、反射镜反射进入四分之一波片，由偏振分光棱镜分成P光和S光，分别经过两个直角棱镜反射后共路传播，由聚焦镜聚焦，经光阑打到晶圆表面；后续由晶圆反射原路返回分光棱镜，透射过分光棱镜、偏振片，由聚焦镜进入偏振分光棱镜，分出P光和S光信号被光电探测器采集后，解出被测表面的相位梯度，获得准确的表面缺陷信息。本发明不仅能在线检测表面缺陷的存在及形状，还能测量表面缺陷的三维几何结构，准确辨别缺陷种类和形成来源，以解决缺陷几何结构检测与识别难题。
天眼查资料显示，无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司，成立于2021年，位于无锡市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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