北京
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国家知识产权局信息显示，意法半导体国际公司申请一项名为“制造光学肋波导的方法”的专利，公开号CN121209009A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本公开涉及制造光学肋波导的方法。根据一方面，提出了一种用于制造光子集成电路的脊波导的方法，该方法包括：从在绝缘体层上形成的硅层形成初始脊光波导结构，然后形成具有面向初始结构的脊的开口的掩模，然后实现氧化以减小面向掩模的开口定位的初始结构的脊的厚度，以从初始结构获得具有厚度小于初始结构的脊的厚度的脊的光波导，然后去除掩模。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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