北京
国家知识产权局信息显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司取得一项名为“一种偏振光检测装置及光刻设备”的专利，授权公告号CN223728129U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型涉及光刻技术领域，公开了一种偏振光检测装置及光刻设备，该偏振光检测装置包括分光元件、起偏器以及光电传感器；其中，起偏器为允许预设偏振方向光束完全透射的光学元件；分光元件用于设置在光源的输出光路上，并将光源输出的光束按照设定比例分光形成偏振特性相同的检测光束和曝光光束；且检测光束可入射至起偏器；光电传感器用于检测检测光束经起偏器透射输出的光能量，以确定经曝光光束的偏振方向是否和预设偏振方向相同；其中，预设偏振方向为曝光光束用于曝光时的要求偏振方向。本申请中光束偏振特性检测和光刻过程可同步进行，且光路结构简单易于实现，从而降低光刻设备中偏振光检测难度。
天眼查资料显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息577条，此外企业还拥有行政许可211个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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