北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“多元混合气体浓度检测方法、装置、设备、介质和程序”的专利，公开号CN121208124A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体工艺气体检测技术领域，提供一种多元混合气体浓度检测方法、装置、设备、介质和程序，包括以：生成至少两个频率不同且频率差处于预设阈值内的超声波信号，接收经多元混合气体传播后的超声波信号，将接收到的超声波信号与参考信号进行数字混频，经低通滤波后提取低频包络相位差，计算得到高频相位差；计算总相位差所跨越的周期数，并结合单周期内的相位差得到修正后的总相位差；基于修正后的总相位差和已知的声波传播距离，计算超声波信号的声速；将声速代入多元混合气体的声速‑浓度反演模型，实时解算出各气体组分的浓度。本发明用于半导体制造过程中对供气系统的多组分气体浓度进行无相位模糊的高精度、实时在线检测。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本229.6265万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息59条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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