国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请一项名为“晶圆的电荷消除方法、介质、产品及设备”的专利,公开号CN121218423A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆的电荷消除方法、介质、产品及设备。本发明的晶圆的电荷消除方法包括:将被处理的晶圆输送至预设的电荷消除位置,并停留设定时长,以对晶圆进行表面电荷消除操作;获取晶圆在进行表面电荷消除操作前后各自的表面带电量,并确定本次表面电荷消除操作消除的电荷量;根据本次表面电荷消除操作消除的电荷量计算下次表面电荷消除操作在电荷消除位置需停留的时长;按照计算出的需停留的时长重新对晶圆进行表面电荷消除操作。本发明的电荷消除方法在晶圆消除电荷操作的过程中,可以提升电荷消除的效果,提高生产效率。
天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息162条,专利信息382条,此外企业还拥有行政许可18个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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