国家知识产权局信息显示,深圳市诺峰光电设备有限公司取得一项名为“一种清洗系统及CMP研磨设备”的专利,授权公告号CN223700457U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型公开一种清洗系统及CMP研磨设备,具体公开了一种清洗系统,包括机械手以及至少两条清洗线,机械手用于将晶圆搬运至清洗线,清洗线用于实现对晶圆的清洗,相邻的清洗线间隔设置,以形成维修通道,维修通道至少包括一与外界连通的出入口,机械手设置在维修通道中,且可于维修通道的延展方向移动,可以理解,本实用新型将维修通道设置在清洗系统内部,且同时作为机械手的设置区域以及移动区域,通过上述设置,本实用新型的维修通道并未占用清洗系统的额外空间。即本实用新型通过合理布局,在保证设备整体体积不变的情况下,增设了一条供维修人员维修设备的维修通道,解决了现有设备维修难的技术问题。
天眼查资料显示,深圳市诺峰光电设备有限公司,成立于2013年,位于深圳市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1015万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市诺峰光电设备有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目14次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息273条,此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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