国家知识产权局信息显示,南京谦视智能科技有限公司申请一项名为“一种晶圆状态检测装置和检测方法”的专利,公开号CN121075944A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请提供一种晶圆状态检测装置和检测方法,装置包括:光源用于照射待测晶圆,折转光路用于导向待测晶圆的左侧区域、中央区域和右侧区域的反射光至成像模块,处理模块用于根据成像模块获取的待测晶圆的上下边缘像素距离和标准晶圆的上下边缘像素距离,确定重片数量。处理模块用于根据成像模块获取的左侧区域图像、中央区域图像和右侧区域图像分别拟合得到的晶圆上边缘或晶圆下边缘的第一直线斜率、第二直线斜率和第三直线斜率,确定斜片角度。处理模块用于根据物方像素对应尺寸和成像模块获取的左侧区域图像、中央区域图像和右侧区域图像得到的晶圆上边缘或晶圆下边缘的最大纵向像素间隔,确定翘曲量,实现对待测晶圆状态的定量检测。
天眼查资料显示,南京谦视智能科技有限公司,成立于2017年,位于南京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本350.0243万人民币。通过天眼查大数据分析,南京谦视智能科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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