北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“喷淋头组件、包括其的半导体处理系统及相关方法”的专利，公开号CN121046816A，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，公开了喷淋头组件和包括喷淋头组件的半导体处理系统。所公开的喷淋头组件包括盖、喷淋头板和设置在盖和喷淋头板之间的环形流动环。公开了用于在执行过程时调节进出反应室的气体流的方法。所公开的方法包括将环形流动环定位在第一位置和第二位置处。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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