国家知识产权局信息显示,江苏东晨电子科技有限公司取得一项名为“一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置”的专利,授权公告号CN223602788U,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本实用新型涉及功率半导体制造技术领域,公开了一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置,不锈钢匀胶腔室配备吸盘电机连接轴,轴底接吸盘电机提供旋转,轴顶装旋转吸盘。腔室外侧装电动提升器,输出端接翻转座,座上装双层盖,盖上装滴胶管路,管路穿盖向下延伸。通过优化的匀胶设计,有效减少了晶圆背面和边缘的胶丝残留,从而降低了在后续光刻过程中出现破片、裂片等导致晶圆报废的问题。减少了晶圆边缘胶丝残留,进而减少了因胶丝残留造成的光刻版损伤,延长了光刻版的使用寿命。通过减少晶圆的报废率和光刻版的损伤,为高压大功率芯片的台面、引线等光刻匀胶工序提供了更合理的工艺方案,从而提升了整体的工艺良率。
天眼查资料显示,江苏东晨电子科技有限公司,成立于2009年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏东晨电子科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目19次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息56条,此外企业还拥有行政许可21个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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