CMP PE 工程师的工作心得：垫着硅屑往前走的人

做 CMP 的人，没有一个是容易的。

别人看到的是「抛光」，你经历的是——
浆料飞溅、pad 老化、压力飘、曲线抖、scratch 掉良率、老板催报表、线上小姐姐喊你快点、WAT 图像阴魂不散。

别人以为 CMP 只是把 wafer “磨平”这么简单，
只有我们自己知道：
CMP 抛平的不是 wafer，是脾气、情绪和人生的棱角。

一、CMP 的世界，只有做过的人才懂

CMP 的难，不是某个参数玄学，
是它同时受太多因素的影响：

• pad 的硬度会变

• conditioner 会钝

• slurry 会降解

• ring 会偏

• platen 会磨

• head 会松

• ICP、RR、NU、scratch… 每一个都能要你命

CMP 就是“全世界都在想办法让你难搞”，你得用理性把它拉回正轨。

也正因为此——CMP PE 是前段工艺线里，最接近黑魔法的人。

二、PE 的本质不是调机，是“让生产线相信你”

很多新人以为：PE 就是调 recipe、跑试片、写报告。
其实只说对了一半。

真正的 CMP PE，是这样的：

• 你调的不是机台，是整个流程的稳定性；

• 你看的不是曲线，是 wafer 的命运；

• 你交付的不是报表，是别人敢放心量产的底气。

在线上的小姐姐眼里，PE 是“出了问题要叫的人”；
在老板眼里，PE 是“稳定生产的保险丝”；
在 yield/PIE 眼里，PE 是“CMP 这段能不能放心的关键角色”。

说难听点：你就是 CMP 套件里最贵、也最不能坏掉的那颗零件。

三、每天忙得要死，其实是在对未来投资

做 CMP PE，最常见的感受就是：

• 今天查 scratch 查到怀疑人生

• 明天 RR 飘到你以为机台在跟你开玩笑

• 后天 pad condition 又不稳定

• 还要被问：“为什么你这批又偏了？”

你嘴上说“我也想知道为什么”，
但第二秒，你已经又冲到机台前、翻 log、问 OP、找 yield。

你心里明白：这些看似无穷无尽的 troubleshooting，其实是在帮你搭建属于自己的“经验库”。

有一天你会突然发现：

• 看一眼 wafer map，你就知道可能是哪个 head 的膜压不均；

• 看一条 NU 的趋势，你能猜到 pad 该换了；

• 看到 RR 抖，你能判断是 slurry 还是 pressure tank 的锅；

那一刻你会明白：CMP 是靠时间换经验的工作，每一次狼狈的救火，都是你未来升职加薪的资本。

四、PE 和机台是恋爱关系：你越懂它，它越听你话

CMP 机台就是这样一个“又傲娇又脆弱”的家伙：

• 你忽视它一天，它用 scratch 教训你；

• 你忘了 pad 寿命管理，它用 NU 飘给你看；

• 你 slurry 管不好，它用 RR 下滑回击你；

• 你漏看 log，它在 WAT 上给你放烟花。

但只要你愿意：

• 多看几次趋势

• 多跑几次试片

• 多跟EE、OP沟通

• 多问机台今天有没有“小情绪”

你会发现——机台其实很听懂你的人，说白了，它只是不喜欢被忽略。

五、PE 不是技术工种，是一种“坚韧的性格”

我见过很多 CMP PE，他们的共同特点不是聪明，而是——扛得住、熬得住、站得住。

• 良率掉的时候不慌

• 客户抱怨的时候不怂

• 线上爆的时候不跑

• 夜里被叫醒也能马上进入作战状态

说 CMP PE 辛苦的，一点都不夸张。

但我更愿意说：CMP PE 是 fab 里最像“守门人”的角色。

你不站好这一班岗，后面几十道工序都可能跟着“跳崖”。

这不是情怀，这是事实。

六、给所有刚入行 CMP PE 的建议

最后，给新人几句肺腑之言：

1. 不要怕问

CMP 的坑太多，你不问，就会掉进去。

2. 不要怕跑机台

你对现场熟悉得越早，成长越快。

3. 不要怕数据

RR/NU/ICP/摩擦力/扭矩/温度……
你盯得多了，它们真的会“给你语言”。

4. 不要怕被骂

被骂说明你负责的那段有人重视。
不被骂……那才危险。

5. 不要怕累

CMP 本来就是靠经验吃饭，
你现在累，是在给未来的自己打地基。

七、写在结尾：CMP 人有一种特别的底色

CMP PE 的心声，可以这样概括：

“我知道我的工作没人完全懂，但我清楚地知道它的重要。”

“我解决的问题不一定有人感激，但稳定背后都有我在撑着。”

“我不只是抛光 wafer，我是在替整个产品线扫掉风险。”

如果你正在这条路上累得够呛、被数据折磨得想摔键盘、被机台搞到想辞职——
记住：

CMP 让你变强，不是一天、两天，而是在每一次你不想坚持、却还是坚持的时候。

如果有一天你终于成长成那个别人都愿意请教的 “CMP 大佬”，
你会回头发现：

你走过的每一批 wafer 都在帮你铺路。

CMP 不容易。
PE 不容易。
但坚持下来的人，都会闪闪发光。

——写给所有在抛光间里挥汗的你。