国家知识产权局信息显示,安徽熙泰智能科技有限公司申请一项名为“一种多层ITO阳极制备工艺”的专利,公开号CN121038571A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种多层ITO阳极制备工艺,包括以下步骤:S1、HMG膜层制作;S2、进行光刻胶作业;S3、干法刻蚀去胶作业;S4、进行HMG两层ITO沉积;S5、两层ITO表面进行光刻刻蚀作业;S6、用有机溶液进行浸泡,将有机材料溶解剥离;S7、HMB、HMR膜层制作;在步骤S6基础上再蒸镀有机材料,之后沉积氮化硅\氧化硅\金属材料三者选其一,重复步骤S2和步骤S3进行处理;S8、沉积一层ITO;S9、ITO表面进行光刻刻蚀作业;S10、用有机溶液进行浸泡,最后将剩下有机材料溶解剥离,利用湿法剥离蒸镀有机材料层得到HMB、HMR。通过湿法刻蚀进行剥离达到像素ITO沉积三次减少至两次工艺,减少ITO沉积侧壁避免侵占SPACE空间,去除ITO残留和SPACE里的形貌有凸起现象,提高良品率。
天眼查资料显示,安徽熙泰智能科技有限公司,成立于2016年,位于芜湖市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本26191.47万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽熙泰智能科技有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目46次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息467条,此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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