北京
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国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“用于处理基板的装置”的专利，公开号CN121034995A，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，本公开提供了一种用于处理基板的装置。在实施方案中，用于处理基板的装置包括：在其中具有加工空间的贮器；将工艺流体供应到加工空间的供应端口；以及设置在贮器中并在贮器中加工基板时支承基板的柱状单元，其中，柱状单元包括：柱状板；以及从贮器的下侧支承柱状板的支腿，并且支腿包括：固定到贮器的下侧的下销；以及可拆卸地耦接到下销并插入到柱状板的通孔中的上销。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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