北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料股份有限公司申请一项名为“采用对称或不对称的力应用于离子源温度控制的系统以及方法”的专利，公开号CN121039775A，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，一种离子源，在离子源中，施加至提取孔口的两侧上的面板的压缩力可独立地改变。对面板与电弧腔室之间的压缩力进行修改可通过修改两个组件之间的接触热阻而能够对离子源进行温度控制。此可使得能够对面板的温度进行更多的控制，且更具体而言可因沿着面板长度对热接触梯度进行精确控制而对整个面板的温度分布进行控制。离子植入系统包括两个可调节张紧系统，两个可调节张紧系统中的每一者均包括致动器。使用控制器向每一可调节张紧系统提供命令信号。在实施例中，通过每一可调节张紧系统来产生代表致动器所经受的扭矩或力的反馈信号。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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