北京
国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“光刻机干涉仪光束校准装置及方法”的专利，公开号CN121025951A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明涉及光学测量领域，提供一种光刻机干涉仪光束校准装置及方法。光刻机干涉仪光束校准装置用于校准光刻机内的干涉测量系统的测量光束，包括基准光学元件，被配置为在校准环境中建立绝对角度基准；模拟靶标，具有至少一个反射面，被配置为在校准期间可拆卸地放置于测量光束的光路中；基准传递组件，被配置为将基准光学元件所定义的绝对角度基准传递至模拟靶标的反射面；诊断光学模块，被配置为可拆卸地安装在干涉测量系统的光束出口处，用以接收经模拟靶标的反射面反射后的测量光束；诊断光学模块将所接收到的测量光束与诊断光学模块的内部参考光束进行干涉，并以所形成的干涉条纹的形态作为判断测量光束准直状态的依据。
天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3948.3968万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标项目74次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息144条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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