北京
国家知识产权局信息显示，肇庆市科润真空设备有限公司申请一项名为“一种长形RF离子源及其使用方法”的专利，公开号CN 121011494 A，申请日期为2025年8月。专利摘要显示，本发明公开一种长形RF离子源及其使用方法，离子源包括栅网组件、放电室体、挡罩、磁铁和RF线圈，栅网组件设于放电室体顶部，放电室体外周设有RF线圈，栅网组件下方设有磁铁和挡罩，放电室体、磁铁和RF线圈分别位于挡罩内，放电室体底部设有工作气体进气口；栅网组件包括石墨栅网板、栅网隔板和栅网压板，石墨栅网板和栅网隔板层叠相接形成整体呈长方弧形状的主体结构，主体结构顶部设有栅网压板。其使用方法是在作为工作气体的氩气中加入氧气，利用氧气氧化石墨栅网板工作过程中溅射出来的石墨离子，使其被氧化形成CO2气体，并采用真空泵抽走。本发明的离子源结构稳定可靠，耐高温性能较好，具有较长的使用寿命和较好的使用效果。
天眼查资料显示，肇庆市科润真空设备有限公司，成立于2002年，位于肇庆市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，肇庆市科润真空设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息67条，此外企业还拥有行政许可32个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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