现在回头再看这场光刻机争夺战,把结局和起点一起算上,到了2025年ASML还在给中国供货和服务,只是数量没以前那么多,在公司财报里提到过中国市场对营收贡献曾经将近一半份额,但是将来估计会下降,荷兰政府在这事里面也是个复杂的角色:有时候跟着美国走,有时候留着空间给自己人,一方面要应对来自华盛顿那边的外交压力,另一方面还得顾住自家出口挣的钱,这就导致政策总是在限制跟弹性之间摇摆不定。
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回到起点,2019年成了个分水岭,那一年荷兰先给EUV对华出口许可按了暂停键。EUV是生产7纳米甚至更先进芯片的关键设备,美国那时推动盟友对高端设备做更严苛的风险审查,几笔EUV订单就这样被叫停。ASML这家掌握这类核心设备的厂商立刻感受到了影响,在财报里它透露因为许可延误公司手上囤积的库存变多并产生数亿美元成本压力。
在此之前,ASML对中国市场的销量是以相对成熟一点的DUV机型为主,大概占到公司销售的15%,这些设备做不了最先进芯片,但可以支撑28纳米及以上的生产线。面对可能被掐脖子的情况,中国客户开始囤货,尽量先把能买到的DUV设备先囤起来,以备不时之需。大家这段时间又开始重新盘算供应链的脆弱之处。
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到了2020年,事情开始变得严重起来,ASML曾打算给一家中国晶圆厂交出一台EUV设备,在美国外交介入之下这种交付行为就被叫停,这个动作直接影响到有关企业推动7纳米制程进程的情况。美国在年底还扩充了管制清单项目,把更多的半导体制造装备包含进去受限制当中,这样一种做法为日后其他国家采取相似手段开辟出了通道条件,因为那时的中国已经成为世界上最大的芯片进口国家,并占全球总购买量约三分之一份额比例的事实已经发生过,于是荷兰以及其他供应商方面所
到了2021年,2022年的时候,管控的范围往中低端设备上延伸了。美国在2022年推动通过了一项很大的对半导体产业的支持法案,在里面补贴有几百亿美金,并且希望能够盟国一同同步地限制对中国出口。荷兰国内也在不断考量着这件事情,首相在接受公合采访时表示这些管制是很复杂的,需要和盟友商量好才行动。而荷兰官员在海牙内部讨论时,既有关于国际安全考虑的因素,也有保护自身企业与岗位的工作现实因素。
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企业方面,ASML开始调整经营策略。公司想要减少对美国技术环节的依赖,并且改进供应链,在服务网络上把范围扩大到更多地方。在对中国市场的工作中,ASML依然大量交付DUV机型来支持28纳米及以上生产的进程,当时中国一些厂商正在大规模采购这些机器用于扩充NAND和其他成熟制程产能的情况也存在,为了应对可能出现的出口限制情况,公司在交货规则改变之前就加大了出货数量并导致了一段短暂时间内出现了出货高峰现象发生过一次荷兰政府决定对于那些被视作敏感型别的机种实行更加严格的许可政策时选择让一些较早型号或者被认为是“非敏感”类别的装置继续向外销售的做法也被采取。
2023年成为一个新节点,年初美日荷三国就某些设备的出口门槛达成初步共识,荷兰随后宣布对部分浸润式DUV机型实施许可制度,规定从当年9月起对该类设备向中国出口实行逐案审批。公告发布前几个月ASML对华出货量有集中释放现象,在报告中显示当时该公司对华营收占比曾达到很高水平,新规生效后对于先进逻辑芯片的关键设备审查变得严格起来,给若干家中国芯片厂扩产造成阻碍情况发生过。
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政策调整不是单行道,美国不断在外头施压盟友加码,荷兰偶尔也会响应更严格的尺度,不会一刀切地把门堵死。2024年初荷兰回收了一些旧许可,ASML就不给某些中国客户送价值上亿美元的浸润式DUV设备,这时候美政府和荷方有过直接交流。ASML内部对这些限制举措是否会长期有效一直有疑问,管理层觉得技术外泄很难彻底阻止,那一年公司高层出现过交接现象,老一代掌舵人退休之后由新人接替,后者答应继续承担国际义务并考虑已有客户的状况。
在对华服务方面ASML也做出了一些应对措施。公司在大陆新建了培训和服务中心,在中国大陆地区培训工程师,使机器运行更加高效。对于已经出售给客户的设备提供了远程诊断以及快速备件等售后服务,从而增加了客户粘度使得来自服务方面的收入增加,这既减轻了出货受限带来的短期冲击,又能够在出口管制更严格的情况下保留住自己的收入来源渠道。
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中国对这些限制做出的反应是加速本土化以及寻找替代方案,政策压力下国内厂商加快采购设备并囤积库存,同时也加大研发投入力度。到了2023、2024年部分中国企业还在NAND扩产及成熟工艺上继续扩张,在2025年中国上海有一家公司推出国产光刻机达到28纳米级别水准,虽然与国际顶级产品仍存差距但也表明了其在设备自主方面取得一定进展成果;除此之外它还尝试着其他各种不同的替代性技术路线如多波束电子束直写等以降低自身对于单一供应商过分依赖的风险,并且成立了新机构来试图构建起更加完整的高端光刻及相关产业链条。
供应链的反制也有了新的动作,中国2024年对一些关键原材料出口实行限制,这就波及到光学镜头方面的供应情况。ASML财务负责人说,公司短期库存是够用的,不过这种反制又给全球生产链增加了不确定因素,面对这样复杂的局势,荷兰跟美国以及欧盟内部都在讨论怎么界定“敏感技术”,荷兰要在这点上做到既遵守国际承诺又能保住自身经济利益才行。
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市场方面,ASML的业绩有起伏。公司在报告里提到过对华销售曾占到营收非常高的比重,并且警告将来可能大幅下降,面对不确定性的订单情况,ASML在其他地方寻找增长点以分散风险,全球对于人工智能、数据中心等的需求促使着对先进半导体不断投入资金,ASML希望从中找到新的增长机会。
从更远的视野看这场技术与外交摩擦的教训也很明晰,想靠限制完全封堵住技术流传并不容易,管制短时间内能减缓关键设备流向特定市场,但也会逼迫受制者加快自己研发、囤积或者找替代路子。对供应国而言突然切断某个市场的供给会伤害到自身产业和就业,这令荷兰这样小国在盟友压力和个人利益面前不得不左右为难,多边合作和同步规则虽可加强管制效力,但根本问题还是全球化的技术散播及复杂供应链不能被轻易改变。
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未来几年ASML对华业务大概率会继续萎缩,但不会归零。公司依靠服务、软件升级以及拓展全球市场来缓解硬件出货量下降带来的影响,中国本土研发与替代技术也在持续前进,并且长远目标是构建起更为独立的产业链条,在各方力量互相较劲的过程中政策和市场都会发挥作用并决定半导体产业下一步走向。
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