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中企对外宣布:回购中国已购光刻机!外媒:ASML的专利权陷入危机

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2025年10月的上海,长江存储总部大楼前的电子显示屏上,一行醒目的白色文字赫然在目:“因ASML未能履行售后服务承诺,我方正式提出设备回购请求”。

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在全球目光聚焦于这场中荷企业间的对峙时,彭博社发布的一篇深度分析却打破了外界预设的对抗叙事。

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“这场争端没有真正的胜利者。对ASML而言,真正值得警惕的并非资金压力,而是被排除在中国市场之外后可能陷入的技术边缘化。”

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一切始于一场持续三年的技术围堵。2022年10月,美国率先出手,禁止向中国出口EUV光刻机——这项被誉为“芯片制造皇冠上的明珠”的设备,是生产3纳米及以下先进制程芯片的核心工具。

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面对封锁,中国企业并未停滞,反而迅速转向深紫外(DUV)光刻机的大规模采购。

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中芯国际、长江存储等龙头企业陆续从ASML引进上千台DUV设备,这些机器被紧急部署在上海张江、北京亦庄等地的晶圆厂内,在昼夜不息的运转声中,支撑起华为海思、兆芯等国产芯片企业的关键产能。

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然而好景不长。2023年9月,荷兰政府追随美方脚步,宣布对高端DUV光刻机实施逐案审批制度,出口中国需获得特别许可。

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进入2024年,局势进一步恶化。美国扩大管制范围,将24类半导体制造设备列入禁运清单,甚至连中端DUV设备的软件升级服务也被切断。荷兰更直接撤销了部分已签发的出口许可。

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数批已完成组装的NXT:2050i型号光刻机被迫滞留在鹿特丹港口,无法启运。与此同时,中芯国际28纳米产线的产能利用率由85%骤降至72%,直接影响多个终端产品的交付周期。

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最令业界愤慨的是售后服务的全面中断。

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上海某大型芯片制造厂的资深工程师老李回忆道,2024年夏季,车间内五台NXT:2000i设备突发光源故障,导致晶圆良率瞬间下滑15个百分点。

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“我们第一时间联系ASML上海分公司,以往这类问题48小时内就会有技术团队到场处理。可那次等了一周,只收到一封冷冰冰的邮件:‘受出口管制法规限制,暂无法提供现场支持’。”

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这些设备的采购合同中明确约定:ASML须提供长达十年的备件供应与现场维护服务。

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如今,价值数亿元的精密仪器沦为“带病运行”的半瘫痪状态。长江存储内部测算显示,单台设备停摆一周即造成约500万元损失,全年潜在经济损失超过10亿元人民币。

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2025年10月,长江存储正式发布公告,要求ASML按原价回购数百台深紫外光刻机,并赔偿因服务中断所引发的额外运营成本。

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公告附带详尽清单,涵盖从NXT:1980到NXT:2100i等多个型号,每台设备的采购日期、累计运行时长均清晰列明。文末更以强硬措辞警告:“若30日内未予回应,我方将依法申请冻结其在中国境内的资产”。

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消息一经披露,ASML股价当日重挫3.2%,市值蒸发高达80亿欧元。

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舆论普遍预测,这家全球光刻机霸主将以“遵守出口法规”为由断然拒绝回购要求。

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但路透社曝光的内部文件揭示了另一番图景:ASML董事会已紧急拨款1亿欧元组建专项法律团队,核心任务并非对抗索赔,而是探索“既能满足监管合规,又不至于彻底激怒中国市场”的中间路径。

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国际媒体的解读逐渐超越简单的输赢判断。

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彭博社援引ASML前首席执行官彼得·温宁克早年言论指出:“中国市场的销售额占公司总收入近三成,失去它,就如同飞行器失去一侧机翼。”

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《金融时报》的评论更为深刻:“中国企业此次提出的回购诉求,实质是以商业契约撬动ASML专利壁垒的突破口。一旦确认ASML违约在先,其在中国注册的逾5000项光刻相关专利效力或将面临系统性挑战。”

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这意味着,倘若案件进入司法程序,中国企业在特定条件下或可合法使用ASML的部分核心技术,这种潜在的技术开放风险,远比财务赔付更令ASML高层忧虑。

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ASML今日的困境,其实早有征兆。

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其光刻机系统中约30%的关键零部件源自美国,包括由Cymer公司提供的极紫外激光源,以及德国蔡司制造的高精度光学镜组,整个供应链深度嵌入西方体系,难以完全独立运作。

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但中国市场的重要性无可替代。在2023年禁令出台前,中国仅上半年就从ASML进口设备金额超50亿美元,累计引进设备超1400台,这些装置支撑着全球接近四成的成熟工艺芯片产能。

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就在ASML陷入地缘夹缝之际,中国半导体产业链的自立进程正加速推进。

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2024年,上海微电子成功推出具备28纳米工艺能力的国产DUV光刻机,已进入中芯国际生产线进行实测验证。设备良率从初期的80%稳步提升至95%,尽管曝光效率略逊于ASML同类机型,但售价仅为对方一半。

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中芯国际联席CEO梁孟松在财报会议上透露,公司自主培养的200人技术维保团队,目前已能独立解决80%以上的常见故障。“过去更换一个激光反射镜要等ASML派员两个月,现在国内供应商就能供货,只是成本还有优化空间。”

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材料领域的突破更是出乎西方预料。

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南大光电自主研发的28纳米ArF光刻胶不仅通过中芯国际全工艺验证,还斩获百吨级批量订单,直接冲击日本信越化学在中国市场的份额,致其对华销量显著下滑。

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中国商务部顺势强化镓、锗等战略稀有金属的出口管控。这些元素在全球80%以上的产能集中于中国,尽管ASML已提前储备一批原料,但从长期看,其供应链稳定性仍面临严峻考验。

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最令ASML高层不安的,是中国企业对现有设备展现出的“逆向消化+正向创新”能力。

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据外媒报道,上海一家科研机构在拆解一台退役DUV光刻机时,不慎损毁价值50万美元的激光模块,最终仍需求助ASML技术人员修复。

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但当ASML工程师抵达现场后惊讶发现,设备内部的部分冷却管路和光路结构已被重新设计,“他们不是简单模仿,而是在理解底层原理基础上进行功能性改进”。

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这一现象促使ASML高管在闭门会议中坦言:“当前的出口限制或许能为我们争取三年窗口期,但三年之后,我们或将直面一个技术更成熟、反应更敏捷的竞争者。”

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目前,这场围绕光刻机的较量仍在持续演化。

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ASML虽在进博会高调宣扬“开放合作”理念,却暗中将新订单优先分配给韩国客户;中国企业则一边坚持回购主张,一边加大国产替代设备的研发投入。

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2025年第三季度数据显示,中国本土光刻机在国内市场的占有率已从上年不足10%跃升至30%。与此同时,上海微电子的EUV原型机完成整机装配,分辨率达到5纳米水平,与ASML最新一代产品的技术代差缩短至两年以内。

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回望这场跨越数年的光刻机博弈,从美国发起的技术封锁,到中国企业以合同为武器发起反击,再到ASML在政策与市场间的艰难权衡,以及中国全产业链的快速崛起,事件的发展早已超越普通商业纠纷的范畴。

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国际舆论之所以频频发出“意料之外”的评价,本质上是因为他们意识到一个不可逆转的趋势:中国的科技产业正在从规则接受者转变为规则参与者。

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如今,长江存储总部大楼的电子屏已更新标语:“自主之路,行则将至”。

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当一台台进口光刻机被逐一拆解评估,当国产设备的轰鸣声响彻各大晶圆厂区,人们清晰感知到:这场博弈的最终归属,不属于任何单一企业或国家,而属于那些在封锁中坚持自主创新、在逆境中主动突围的力量。

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中国科技的成长轨迹始终如此:越是遭遇压制,越能激发出顽强的生命力。这份在压力下锤炼出的韧性,正是未来最坚实的发展底气。

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