只差光刻技术了！日媒：中国将成日荷后，第三个造光刻机的国家

这几年半导体行业闹得沸沸扬扬，尤其是光刻机这块儿，简直成了全球科技角力的焦点。荷兰的阿斯麦、日本的尼康和佳能，基本把高端市场垄断了，特别是极紫外光刻机，阿斯麦一家就管着5000多家零部件供应商，牛得不行。

美国从2019年就开始搞出口管制，2020年针对华为下手，2023年又升级，荷兰和日本的企业也跟着限售给中国。这事儿直接把中国逼到墙角，只能自己卷起袖子干。

结果，日本媒体《日经亚洲》在2025年7月16日发了一篇文章，直言中国正加速追赶，搞得日本和荷兰的企业有点慌。文章说，美西方的封锁反而推了中国一把，工程师们埋头苦干，攻克光刻技术看起来就是时间问题。

中国已经在测量、沉积、蚀刻这些环节有成绩，就差光刻核心了。要是中国真搞出自己的极紫外或深紫外机，日本和荷兰的市场份额估计得缩水。

美国这套管制不是一时兴起，2019年刚开始，就针对关键供应链下手，审查出口许可，阿斯麦的部分订单被拖延。2020年，华为禁令一出，中国企业没法子，只能转头找本土替代。政府从2021到2025年的规划里，砸了不少钱，目标是把芯片自给率拉到50%。

2023年8月，美国更新规则，堵了中国获取特定半导体工具的路子。荷兰政府也掺和进来，禁止阿斯麦卖某些深紫外机型给中国。

日本的尼康和佳能出口额那年掉了一些。2024年1月，阿斯麦干脆停了高性能机器的交付，比如NXT:2050i和NXT:2100i型号。这些动作让中国半导体供应链断了顿，急需自力更生。

中国这边也没闲着，上海微电子装备公司成了领头羊。2023年，他们推出支持28纳米制程的深紫外光刻机，年产上百台。中芯国际拿来试产，做了体积小到小拇指的图形处理器，性能跟英伟达H20差不多。

华为建了联合实验室，专门优化沉积和化学机械抛光，少靠进口。政策上，给税收优惠，推供应链用国产件，拉起2000多家本土企业，从光刻胶到抛光设备，全链条闭环。2024年，中国组装出极紫外原型机，用激光诱导放电等离子体光源，功率120瓦。

光学镜面精度到头发直径的五十分之一，对准误差不到0.12纳米。设备体积小了30%，能量效率上到2.3%。浙江大学弄了对准干涉仪，中国科学院搞量子隧道算法。

2025年3月，这原型在华为东莞厂跑了24小时测试，效率从2%提到了4.5%。7月，数据显示能撑4纳米，成本只有阿斯麦的60%。第三季度试生产启动，2026年瞄准量产。3纳米试验线建起来，集成了200台国产机。

专利占有率到全球60%，差距拉到12个月。高盛报告说，中国在65纳米节点已经稳了，但极紫外还得追。阿斯麦老总2025年10月表态，中国研发挺卖力，但赶上还得走一段路。

2025年9月，上海微电子在展会上亮极紫外参数，干法深紫外进量产测试。国家大基金三期重点投深紫外国产化，核心部件国产率目标50%。

上海微电子的28纳米浸没式深紫外关键部件国产率超85%，不过少数件还得进口。先进封装机台量产，芯上微装管后道业务。193纳米氩氟浸没式深紫外成了重点。

全球光刻市场，阿斯麦占79%，日本企业17%。中国想挤进去，当第四家独立玩家。2025年5月，日本和荷兰对华芯片工具出口额近200亿美元，但地缘因素添了不确定。9月，有中国企业拆阿斯麦深紫外机研究，拆坏了，得找原厂修，这事儿暴露技术紧迫。

600系列光刻机90纳米量产，28纳米研发中。宇量昇跟中芯国际合作测试，从零起步破局。北京目标100%国产，但光刻是陡坡。台积电2025年8月从先进线撤中国工具，避美国不满。

分析说，中国芯片能力落后台积电3年，但2025年第四代光刻机工业生产已开动。市场反应，阿斯麦股价跌了7.2%。中国先用在军用，避开外部注意。美国最怕中国不进口光刻机。中国工业底子厚，像开源大模型DeepSeek破AI神话，歼10C雷达升级。

中国EUV机2025年第三季度试产，用激光诱导放电等离子体，超阿斯麦激光方案。指标亮眼，有潜力。半导体周刊说，到2025年9月，上海微电子28纳米机部件国产85%。供应链不全，进口依赖在。

荷兰贸易大臣说，护经济利益，不全跟美国禁。俄罗斯首台光刻机350纳米。中国步子快，两国合作传闻没实锤，但可能有。

从2019年管制起步，到2025年，中国从挨打转主动，差距从几年缩到12个月。光刻是关键，193纳米浸没式是焦点。中国进场，可能改日本荷兰主导。阿斯麦老总认中国努力，但供应链断裂多。中国起步晚，步子稳。

整体，中国从进口依赖到本土闭环，半导体周刊报道，2025年9月，深紫外国产化有进展。挑战有，供应链完整性和进口件依赖。全球看，中国国产替代一成，日本荷兰得面对市场压力。