氯化氢废水处理案例｜氯化氢废水处理方法

氯化氢废水处理案例：电子行业高浓度酸性废水治理项目

项目背景

某大型电子元器件制造企业位于华东地区，主要生产半导体材料和精密电子元件。在生产过程中，晶圆清洗、蚀刻等工序产生大量含氯化氢的酸性废水，日排放量约150吨。由于废水酸性强（pH值1-2）、氯离子浓度高（约8000mg/L），且含有微量重金属，当地环保部门要求企业限期整改，达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）一级标准后方可排放。

废水成分及来源

该企业产生的氯化氢废水主要来源于三个生产环节：一是硅片蚀刻工序，使用盐酸与双氧水混合液进行微细加工，产生含氯化氢、少量硅颗粒及微量砷的废水；二是设备清洗环节，使用盐酸清洗反应釜和管道，产生高浓度氯化氢废水；三是废气处理系统，碱性喷淋塔吸收含氯废气后形成的含盐废水。废水主要污染物包括：HCl（3-5%）、Cl-（6000-10000mg/L）、SS（200-300mg/L）、As（0.5-1.2mg/L），水温较高（约40℃）。

处理工艺流程

针对该企业废水特点，设计采用了"预处理+两级中和+絮凝沉淀+深度处理"的组合工艺：

预处理阶段：废水首先进入调节池均质均量，然后通过耐酸泵送入石英砂过滤器去除悬浮物，降低后续处理负荷。

中和反应阶段：采用石灰乳（Ca(OH)2）和氢氧化钠（NaOH）两级中和。一级中和将pH调至4-5，使砷形成亚砷酸钙沉淀；二级中和将pH调至8-9，确保重金属充分沉淀。中和过程采用pH在线监测与自动加药系统，精确控制反应条件。

絮凝沉淀阶段：向中和后的废水中加入PAC（聚合氯化铝）和PAM（聚丙烯酰胺），在絮凝反应池中形成矾花，随后进入斜板沉淀池进行固液分离。沉淀污泥排入污泥浓缩池，上清液进入下一工序。

深度处理阶段：采用活性炭吸附塔去除残留有机物和微量重金属，确保出水达标。最终出水经pH微调后进入清水池，部分回用于厂区绿化，其余达标排放。

污泥处理：沉淀产生的污泥经板框压滤机脱水后，作为危险废物交由专业单位处置。

处理效果

系统稳定运行后，出水水质检测结果显示：pH值6.5-7.5、Cl-浓度<400mg/L、As<0.05mg/L、SS<50mg/L，所有指标均优于设计标准。该工程总投资约380万元，运行成本约12元/吨水，每年减少HCl排放量超过200吨，环境效益显著。处理后出水部分回用，每年节约新鲜用水约3万吨，实现了经济效益与环境效益的双赢。