专访华特气体傅铸红：适用于5nm制程新品主供海外 High-k前驱体气体国产化或三年内迎突破|直击2025湾芯展

《科创板日报》10月17日讯（记者 黄修眉）在半导体制造的复杂工艺中，电子特气堪称“幕后英雄”，虽鲜为人知，却发挥着不可替代的关键作用。

在10月15日至10月17日举行的2025湾区半导体产业生态博览会（简称“2025湾芯展”）上，华特气体董事、总经理傅铸红接受了《科创板日报》记者专访，聊了聊电子工业的“血液”。

谈光刻气：未来将进一步攻克气体纯度难题

当ASML的EUV光刻机以0.001微米的精度在硅片上雕刻时，有一种中国气体正为这台“工业皇冠”提供“画笔”——华特气体的光刻混合气，是全球仅两家能通过ASML认证的产品之一。这团看不见的“气”，直接影响芯片性能和良品率，也藏着中国半导体打破垄断的硬核实力。

华特气体用二十年磨一剑，硬生生啃下这块硬骨头：50余种产品实现进口替代，20多个产品打入14nm、7nm产线，部分氟碳类产品和氢化物产品甚至闯进5nm制程的“无人区”。

在采访中，傅铸红表示，“光刻混合气应用于集成电路半导体生产的最重要工序之一，气体的稳定性、组分比例准确性对光刻的质量起着关键性的作用。”

这一混合的气体，由氟气与氩气或氪气结合，产生一种拥有激光能量的气体。氟气是自然界最有活性一种元素，其几乎可以和任何东西产生化学反应，具有很强的腐蚀性、毒性，不经过任何处理的氟气可以将不锈钢管道烧毁。

“所以当氟气经过管道、检测仪器进入瓶体的时候，需要保证气体高纯度、配比的精准性和质量的稳定性，我们就需要对其所经过的管路、检测仪器、钢体等都进行处理，并进行钝化。”傅铸红介绍道。

难度更大的是，由于氟的活泼性以及其他组分气的占比和分压极少，如何精准配置这种气体，并能进行捕捉与检测，也非常有挑战性。华特气体需要建立特殊的分析方法，才能应对氟气这一自然特性，否则但检测不了，昂贵的检测器也会被烧毁。这亦是光刻混合气的核心难点所在。

“目前国内半导体工艺节点较多的是28nm等成熟制程，随着半导体制程越来越先进，从14nm进化到7nm乃至以下，其对光刻气的纯度要求会越来越高，对气体洁净度和杂质含量的容忍度会越来越低的。”傅铸红进一步提到。

在他看来，随着半导体先进制程的发展，高端光刻机对精准度要求的不断提高，氟气的纯度也会水涨船高。与此同时，为提高整个光刻气混合气的质量，也需要同步提升其他气体的纯度。如何进一步去除氟气中的水份、氟化氢等杂质，也是华特气体未来需要重点攻克的方向。

截至目前，华特气体经过二十余年的发展，在气体纯化、混配、合成、气瓶处理、气体检测等特种气体生产关键环节，形成了自身的核心技术，已达到了国际先进水平。其部分电子特气产品纯度达到6N（99.9999%）甚至7N（99.99999%），与林德等国际巨头水准相当。

谈制程：已有5nm以下制程的相关气体储备

除了气体纯度难度外，作为国内唯一通过ASML和GIGAPHOTON两家认证的气体公司，华特气体目前已有两款产品能应用于5nm制程。

傅铸红表示，公司本着量产一批、研发一批、储备一批的研发原则，早在多年前就已经开始研发和储备应用于5nm以下制程的相关气体。

“不过，目前国内外半导体制程在工艺节点上还存在代差，公司适用于5nm制程的新品主要还是供应海外市场，目前国内市场对这一先进制程的应用场景还相对较小，仍然以28nm等成熟制程为主。但相信随着技术进步，代差的缩小，这块的用气潜力巨大。”其提到。

针对国际宏观环境及政策波动对电子特气产业的影响，傅铸红回应称，从2013年开始，我国专门组织了多个攻坚项目，攻克集成电路相关电子气体难题，“因此我保守估计，我国目前电子特种气体的国产化率已达到50%-60%，甚至以上。”

不过傅铸红也承认，适用于外延成膜、强腐蚀性气体、High-k前驱体等领域的高端电子气体领域，国产化率还相对较低。目前这类电子气体的全球市场仍然由日韩、美国等占据主要份额。

“但我国一直在技术攻坚，我个人认为，不到三年内，适用于High-k前驱体的相关气体国产化将迎来突破。”傅铸红如此表示。

从华特气体近年来研发来看，该公司近年研发投入聚焦于新型成膜气体、刻蚀体系气体、前驱体气体，并推进乙硅烷、锗烷等新品量产。

谈发展方向：全工艺、全品类覆盖和客户定制化

华特气体在2025年半年报中提到，上半年，行业呈现“需求端回暖、价格端承压”的显著特征。部分核心特气产品销量增长明显，实现了需求端的积极响应。然而受行业竞争进一步加剧影响，市场供需格局出现阶段性调整，气体产品陷入价格竞争态势。

作为国内唯一通过ASML和GIGAPHOTON两家认证的气体公司，华特气体如何将品质转化为品牌，并以此应对国内市场的价格竞争。傅铸红表示，从公司的发展战略来看，主要有四个方面。

一是从客户拓展的角度。华特气体从创立起始就专研电子特气，并在气体种类上拥有独特优势，该公司也被客户称为“气体超市”“什么样的气体都能找得到”。

“我们就要利用这样的优势，做到全工艺、全品类覆盖。”傅铸红称，“以往一家客户使用我们几款产品，以后他们能用上我们几十款产品，甚至做到客户需求定制化。”

二是立足新加坡、泰国等海外生产基地，进一步拓展海外市场。在华特气体位于泰国、新加坡的半导体产业园里，工厂就建在台积电、联电、美光等的厂区旁，管道直接相连。这种“贴身服务”可以降低运输成本，更抢到了HBM封装、车规芯片的增量订单。

傅铸红提到，华特气体的新加坡基地是全牌照生产基地，“未来预计会把一些新品生产放到新加坡去。”

三是从管理角度降低折旧摊销、降低物流成本。傅铸红表示，通过增加客户的区域集中度，以及单个客户产品的更多延伸，公司能显著降低物流运输成本，并提高钢瓶等包装物的周转率。

四是从资本市场入手，通过寻找并收购产业链上下游合适企业，扩大公司的先进技术储备、增加更多产品协同，获取多元的客户资源等。