全氟橡胶(又称全氟醚橡胶,FFKM)是由全氟(甲基乙烯基)醚、四氟乙烯和全氟烯醚组成的三元共聚物,采用乳液聚合法制备。
具有很好的耐高温、耐化学腐蚀和密封性能,广泛应用于航用领域、半导体制造等极端环境密封件。
成分组成:
全氟(甲基乙烯基)醚:提供优异的化学稳定性和耐高温性能;
四氟乙烯:增强材料耐腐蚀性;
全氟烯醚:改善加工性能和弹性。
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主要应用:
航用领域:例如密封件,可耐受高温及强氧化剂;
半导体制造:制造刻蚀设备、薄膜沉积工艺的密封圈,具备抗等离子体腐蚀和低渗透特性;
化工领域:强酸、强碱等腐蚀性介质的密封件,如化工设备浸渍制品。
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