ABM全自研光刻机量产项目落户佛山！加速光刻机国产化突围

9月30日，佛山市与ABM, Inc. Asia Pacific Ltd.（以下简称“ABM”）签订合作协议，广东唯一的光刻机量产项目——年产百台套光刻机及先进封装核心设备生产基地项目落户佛山。佛山市市长白涛出席签约仪式。

ABM成立于2003年，总部位于中国香港，深耕半导体光刻设备领域逾20年，在中国内地、中国台湾及日本设有分支机构与研发中心。公司坚持自主研发制造，掌握超过2000项光刻机关键零部件的专有技术，涵盖光源系统、光路系统、工件台系统、测量与对准系统、掩模版与掩模台机构、环境控制系统等核心技术。截至目前，ABM已向全球超300家客户累计交付近1000台（套）设备，其中70%客户位于中国内地，产品广泛应用于集成电路前道制造（如MEMS、化合物半导体、功率器件）以及先进封装（TSV/RDL/BUMP）等领域。

规划三年内实现年产百台套

项目拟选址佛山市顺德区北滘镇，首期将建设光刻机、涂胶显影设备及晶圆键合机等核心设备生产基地，依托ABM成熟技术平台，规划三年内实现年产百台套的目标。未来，将打造全球领先的集高端设备制造、尖端研发和中试功能于一体的光刻机及先进封装核心设备生产基地，推动中国内地与香港产业协同发展，积极布局全球市场。

值得一提的是，项目从初步接触到正式签约仅用时三个月，市投资促进局与市金融投资控股有限公司坚守耐心资本和长期资本底色，深入推进资本招商，聚焦“硬科技”领域精准发力，以金融活水加速项目落地进程，频密开展深度对接，打造“以投促引、以投带引”标杆案例。

“从初次接触以来，佛山政府的行动效率、对产业发展的渴望和对产业的深刻理解，都让我印象深刻。这也是我们选择佛山的重要原因之一。”ABM公司董事长吴玷表示，佛山作为粤港澳大湾区重要的制造基地，拥有深厚的工业基础和成熟的精密制造能力，尤其在机械加工、光学元件、控制系统等领域具备深厚积累，与光刻机等高精度装备的制造需求高度契合。“我们希望借助佛山作为内地与港澳合作‘桥头堡’的区位优势，利用ABM作为国际企业拥有的国际化合作资源，推动技术、资本、人才的跨境流动，形成国际化合作和国产化融合的创新路径。”

接下来，佛山将持续强化全流程服务保障，全力推动项目早开工、早建设、早投产。随着量产计划的推进，该项目有望成为国内成熟制程节点（如MEMS、功率半导体、化合物半导体、通信射频）和先进封装领域光刻设备国产化的中坚力量，填补国内高端光刻装备领域的空白，为先进封装设备产业链提供关键支撑。

打造大湾区半导体装备新高地

近年来，佛山将半导体及集成电路产业作为战略性新兴产业重点培育，已初步构建起覆盖材料、设计、制造、封测、装备等环节的完整产业链生态。截至目前，全市集聚规模以上半导体企业336家，产业规模突破900亿元，广东先导稀材光芯片项目、蓝箭电子芯片封测基地等一批重大项目相继落地，形成“链主引领、多点支撑”的发展格局。

然而，佛山清醒认识到，高端半导体装备仍是制约产业链自主可控的“卡脖子”环节。此次引入ABM项目，正是佛山实施“强链补链”战略的关键举措。不同于传统终端制造项目，该项目聚焦半导体核心设备端，有望带动本地精密加工、高端光学元件、智能控制系统等上下游配套协同发展，构建“以装备促制造、以制造带研发”的良性循环。

以此为契机，佛山将积极招引高端半导体装备产业链上下游企业集聚发展，力争实现半导体光刻装备产业五年内规模达40亿元、十年突破100亿元的目标，加快建设为粤港澳大湾区半导体及集成电路研制重要基地。

整理：南都N视频记者 路漫漫

通讯员：市投资促进局袁正江