溅射靶材货物名称、商品归类及其对出口管制之影响

摘要：进出口税则“溅射靶材”品名和相应税则号列的设立，是我国“溅射靶材”行业发展的重要标志，而“溅射靶材”行业发展也推动着商品归类的新认知、新思路。本文就其“溅射靶材”的商品归类及其对出口许可、出口管制的影响作一深入探讨。

关键词：溅射靶材商品归类出口管制

前言

国务院关税税则委员会于2011年12月9日发布了《关于2012年关税实施方案的通知》（税委会〔2011〕27号）（以下简称《2012年关税实施方案》），该《2012年关税实施方案》设立了“带背板的溅射靶材组件”这一税则品名，并为该品名设定了8486.9091这一独立的8位税列号列，这一做法适应了我国高性能溅射靶材行业的发展需要。从此，我国溅射靶材行业及产品有了统一的“国际贸易通行语言”，为其顺利出口走向国际市场奠定了基础。同时，随着加工技术的成熟、加工工艺的提升，在进出口贸易实践中，溅射靶材的商品归类也在出现令人欣喜的新变化。有的执法部门适应此变化，作出有利于企业发展、行业进步的举措；有的却与新的变化格格不入并视为洪水猛兽，僵硬地执法，造成难以挽回的重大损失。

一、溅射靶材行业发展：技术更新下的高性能溅射靶材

溅射靶材（英文名称：Target，简称靶材）要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成分与组织均匀性、异物（氧化物）含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。靶材的原材料有金属，合金，陶瓷化合物等。

靶材于20世纪70年代率先在国外起步，我国直至2003年才开始引进国外相关技术与设备。作为颠覆传统高污染电镀行业的新兴朝阳产业，靶材行业虽发展迅速，但初期国内仅能试制成功单一金属靶材，二元及多元金属靶材的技术瓶颈始终未能突破。在此一背景下，国内靶材出现了多极分化，有的企业通过引进技术、技术攻关，投入大量人力物力，克服了各项技术瓶颈，实现了一体化的靶材，还有的企业技术不过关，仍然生产并出口技术含量低的单金属裸靶，以及传统的“带背板的溅射靶材组件”。

除了无背板结构单金属裸靶外，无论是“带背板的溅射靶材组件”，还是“靶材和背板一体化的溅射靶材”都是镀膜设备的专用阴极，待镀膜工件为设备阳极。镀膜机工作原理为：在真空环境中，借助强电场对氩原子进行电离与加速，使其成为高动能粒子，这些粒子轰击靶材表面，促使靶材表面气化（行业内简称“粒子加速”）；汽化后的原子在磁场作用下精准沉积到工件表面，形成微米级厚度的薄膜。

靶材为专用设备定制零件，需根据特定镀膜设备要求生产，目前主要应用于三大类专用镀膜设备：1.半导体和集成电路镀膜机；2.光刻机镀膜用设备；3.粒子加速器镀膜机。其中，粒子加速器镀膜机涵盖范围较广，既包含电泳设备（低端），也涵盖半导体和集成电路镀膜机、光刻机镀膜用设备，还包括更高端的粒子射频仪；其名称直观体现了靶材的核心工作原理。

二、靶材的商品归类

根据以上描述，依据技术含量、生产工艺、加工程度等的不同，靶材的商品归类分别如下：

（一）单金属裸靶。裸靶原材料通常为高纯金属或金属合金，而单金属裸靶是由单一金属制成的靶材半制成品，无背板结构，不具备与溅射机配合的连接孔、定位突起或卡环、卡口等结构。单金属裸靶不具有直接装配于溅射机的功能，根据《2012年关税实施方案》，“单金属裸靶无背板结构按原材料归类”，即如果原材料是铬的，按《中华人民共和国进出口税则》（以下简称《税则》）第81章品目8112铬制品归类，归入该品目8112税号的铬制品是需要办理出口许可证的。

（二）带背板的溅射靶材组件。该种靶材由裸靶和支撑背板两部分组成，背板与裸靶通过焊接连接为一体。裸靶原材料通常为高纯金属或金属合金，通过特殊的热机械处理和精密机械加工制造而成，背板通常带有与溅射机配合的连接孔、定位突起或卡环、卡口等结构。因为该靶材具备了上述加工特征，可以直接装配于溅射机作为设备阴极使用，为此，《2012年关税实施方案》为这一新产品确定了品名“带背板的溅射靶材组件”、设立了税则号列“8486.9091”，并出台了本国子目注释，见《2012年关税实施方案》附件8“进出口税则税目调整表”。

（三）靶材和背板一体化的溅射靶材。既不同于单金属裸靶，也不同于带背板的溅射靶材组件，靶材和背板一体化的溅射靶材是在带背板的溅射靶材组件基础上技术升级，是由单一材料构成的裸靶、背板、装配同质一体化结构的物理气相沉积设备的阴极部分。该状态已具备定位突起、卡环、连接螺纹等安装支撑结构，已具备设备零件特征。因而，在有的企业的积极努力下，争取到了对企业有利的、且符合行业发展规律和产品特性的税则号列8486.9099。

三、靶材归入税则号列8486.90的法律依据

靶材是镀膜设备的专用阴极，待镀膜工件为设备阳极。镀膜机工作原理为：在真空环境中，借助强电场对氩原子进行电离与加速，使其成为高动能粒子，这些粒子轰击靶材表面，促使靶材表面气化（行业内简称“粒子加速”）；汽化后的原子在磁场作用下精准沉积到工件表面，形成微米级厚度的薄膜。

根据《关税法》第九条，关税税目由税则号列和目录条文等组成。关税税目适用规则包括归类规则等。进出口货物的商品归类，应当按照《税则》规定的目录条文和归类总规则、类注、章注、子目注释、本国子目注释，以及其他归类注释确定，并归入相应的税则号列。据此，就支持靶材归入税则号列8486.90的相关依据，我们逐一作列明并分析：

（一）《税则》规定的目录条文。如前所述，《2012年关税实施方案》已将《税则》进行调整，增列了税目：税则号列为“8486.9091”，目录条文为“带背板的溅射靶材组件”。因而，带背板的溅射靶材组件归入税则号列8486.9091。

此外，引用《税则》以下目录条文：

38.24之目录条文：“38.24 铸模及铸芯用粘合剂；其他税目未列名的化学工业及其相关工业的化学产品及配制品（包括由天然产品混合组成的）。”

84.86之目录条文：“专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释十一（三）规定的机器及装置；零件及附件。”

（二）归类总规则。归类总规则在《税则》中明文列明，其分为规则一、规则二、规则三、规则四、规则五、规则六，从规则一到规则六依次适用。货品在《税则》目录上的归类，应遵循这六项原则。其中，规则一规定：“类、章及分章的标题，仅为查找方便而设；具有法律效力的归类，应按税目条文和有关类注或章注确定，如税目、类注或章注无其他规定，按以下规则确定。”所称“以下规则”指规则二至规则六。

1.带背板的溅射靶材组件。因归类总规则本身为《税则》的一部分，因而，与上述（一）形成印证：目录条文为“带背板的溅射靶材组件”有明文规定的，依此规定确定，税号为“8486.9091”。

2.靶材和背板一体化的溅射靶材。因目录条文无明文规定，于是依次看规则二至规则五，均不能适用，而根据规则六“货品在某一税目项下各子目的法定归类，应按子目条文或有关的子目注释以及以上各条规则来确定，但子目的比较只能在同一数级上进行。除本税则目录条文另有规定的以外，有关的类注、章注也适用于本规则”，靶材和背板一体化的溅射靶材应当归入税则号列“8486.9099”。

（三）类注、章注。靶材涉及在《税则》第六类“化学工业及其相关工业的产品”之第三十八章“杂项化学产品”、第十六类“机器、机械器具、电气设备及其零件；录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件”之第八十四章“核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件”。

1.归入品目3842。其根据是《税则》第六类类注三：“由两种或两种以上单独成分配套的货品，其部分或全部成分属于本类范围以内，混合后则构成第六类或第七类的货品，应按混合后产品归入相应的税目，但其组成成分必须同时符合下列条件：（一）其包装形式足以表明这些成分不需经过改装就可一起使用的；（二）一起进口或出口的；（三）这些成分的属性及相互比例足以表明是相互配用的。”

2.归入品目8486。其根据是《税则》第十六类注二：“除本类注释一、第八十四章注释一及第八十五章注释一另有规定的以外，机器零件（不属于税目84.84、85.44、85.45、85.46或85.47所列物品的零件）应按下列规定归类：（一）凡在第八十四章、第八十五章的税目（税目84.09、84.31、84.48、84.66、84.73、84.87、85.03、85.22、85.29、85.38及85.48除外）列名的货品，均应归入该两章的相应税目；……”而“带背板的溅射靶材组件”在品目8486项下有明文规定。

此外，其根据还有，《税则》第八十四章章注第十一第（四）项：“除第十六类注释一和第八十四章注释一另有规定的以外，符合税目84.86规定的机器及装置应归入该税目而不归入本目录的其他税目。”

（四）子目注释。涉靶材的没有子目注释。

（五）本国子目注释。涉靶材的本国子目注释如下：“溅射靶材组件由裸靶和支撑背板两部分组成，背板与裸靶通过焊接连接为一体。裸靶原材料通常为高纯金属或金属合金，通过特殊的热机械处理和精密机械加工制造而成，背板通常带有与溅射机配合的连接孔、定位突起或卡环、卡口等结构。单金属裸靶无背板结构按原材料归类。”

（六）其他归类注释：《进出口税则商品与品目注释》。

《进出口税则商品与品目注释》第十六类总注释第二部分：

“零件（本类注释二）一般来说，除上述第一部分所列不归入本类的货品以外，凡明显专用于或主要用于某种机器或装置（包括品目84.79或85.43所列物品），或同一品目所列同类机器或装置的零件，均应与有关机器或装置一并归类。”“机器零件不论是否制成成品，即可使用，均应归入本类。”

《进出口税则商品与品目注释》第十六类之84.86品目注释二“制造半导体器件或集成电路用的机器及装置”之（一）3：

“3．物理气相沉积（PVD）设备，用以将汽化固体物所得到的各种薄膜加以沉积。例如：（1）蒸发设备，通过加热源材料产生薄膜。（2）溅射设备，利用离子对源材料（靶材）进行轰击产生薄膜。”

靶材所使用到的设备就是上述所称之“物理气相沉积（PVD）设备”，其具体运用就是“溅射设备，利用离子对源材料（靶材）进行轰击产生薄膜。”

《进出口税则商品与品目注释》第十六类之84.86品目注释“五、零件及附件”：

“除零件的归类总原则另有规定的以外（参见第十六类总注释），本品目包括本品目所列机器及装置的零件及附件。因此，归入本品目的零件及附件主要包括专用于或主要用于本品目所列机器及装置的工件或工具夹具及其他专用配件。”

四、企业出口货物实践中靶材商品归类之不同申报

靶材为专用设备定制零件，需根据特定镀膜设备要求生产，企业在出口靶材过程中，由于各企业技术能力不同，客户定制要求不同，运用设备不同，因而，申报的商品归类也不同，目前主要应用于三大类专用镀膜设备，视其不同而不同：

（一）运用于半导体和集成电路镀膜机，归入的税则号列为848690：靶材作为阴极参与导电镀膜，主要用于芯片内部互连线路、平板显示、太阳能电池及信息存储等场景。这一归类使用的比较多，应用也比较广泛，其主要依据见上文第二部分。

（二）运用于光刻机镀膜用设备，归入的税则号列为847990：靶材作为阴极参与镀膜，形成的薄膜可实现光的反射或透过，最终达成曝光及图案转移功能。

（三）运用于粒子加速器镀膜机，归入的税则号列为854390）：该类设备涵盖范围较广，既包含电泳设备（低端），也涵盖半导体和集成电路镀膜机、光刻机镀膜用设备，还包括更高端的粒子射频仪；其名称直观体现了靶材的核心工作原理。我国企业有申报此税则号列。此外，20多年前美国海关就对靶材进行归类裁定，将其归入8543税号。

五、靶材商品归类与出口许可证及出口管制出口许可证之关系

由于无论是《2012年关税实施方案》，还是《税则》，甚至海关商品归类执法实践，将靶材之税则号列归入子目8486.90，因而，对于出口许可及出口管制都会带来一定的影响，从依法行政的角度，就是贯彻法律、行政法规的规定，遵守出口许可证、出口管制出口许可证的自身规律，该申请办理就申请办理，不属于出口许可管理、出口管制的物项就不用申请办理出口许可证、两用物项和技术进口许可证。

（一）出口许可证

根据《货物出口许可证管理办法》，“国家实行统一的货物出口许可证制度。国家对限制出口的货物实行出口许可证管理。”“商务部会同海关总署制定、调整和发布年度《出口许可证管理货物目录》。”因而，对于出口许可证管理，我国实行的是目录管理，在目录外的，不实行出口许可证管理。我国每年度都由商务部、海关总署发布《出口许可证管理货物目录》，在该目录里，有明确的货物种类、海关商品编号、货物名称、计量单位。例如金属铬，在《出口许可证管理货物目录》里有三项，一是商品编号为8112210000的未锻轧铬、铬粉末，二是商品编号为8112220000的铬废碎料，三是商品编号为8112290000的其他铬及其制品。虽然“出口许可证管理范围以货物种类及货物名称为准，海关商品编号供通关申报参考。”但是在《出口许可证管理货物目录》商品编号与货物名称是一一对应关系：归入的商品编号准确地反映了该货物的实际状态，反过来亦然，

例如，商品编号为8112210000的未锻轧铬、铬粉末就是这样的一一对应关系。凡货物名称不在该目录里的或是商品编号不在该目录里的，均不属于出口许可证管理范围。进一步地，由上述三项铬制成了靶材，即经过进一步加工变成了设备的阴极，这里靶材已列入法定的税则号列，有具体的货物名称，归入子目8486.90，该税则号列以及该税则号列对应的货物名称均不在《出口许可证管理货物目录》内，因而，无需办理出口许可证。

（二）两用物项和技术出口许可证

两用物项和技术出口许可证属于出口管制类别的出口许可证，不同于上述（一）出口许可证。根据《两用物项出口管制条例》，“国务院商务主管部门依据出口管制法和本条例的规定，根据两用物项出口管制政策，按照规定程序会同国家有关部门制定、调整两用物项出口管制清单，并及时公布。”“国家对两用物项的出口实行许可制度。出口两用物项出口管制清单所列两用物项或者实施临时管制的两用物项，出口经营者应当向国务院商务主管部门申请许可。”根据《出口管制法》，我国对于两用物项实行出口许可制度，如在两用物项出口管制清单内的，一律须申请办理两用物项和技术出口许可证。

如金属钇及其制品，根据2025年4月4日实施的商务部、海关总署公告2025年第18号（公布对部分中重稀土相关物项实施出口管制的决定），其中第七条“钇相关物项管制”第（一）项是“1C908.a金属钇、含钇的合金及相关制品”，具体包括：“1.金属钇（参考海关商品编号：2805301700）。2.含钇的合金：a.钇铝合金；b.钇镁合金；c.钇镍合金；d.钇铜合金；e.钇铁合金。3.含钇的靶材（参考海关商品编号：3824999922、8486909110）：a.钇靶；b.钇铝合金靶；c.钇锆合金靶。”该公告将含钇的靶材列入管制范围，并将其归类为子目848690项下的商品编号。这一方面说明，两用物项管制清单为国家实行两用物项管制之法律依据，即以清单为准，不在清单内的（除临时管制、《出口管制法》第十二条第三款规定以外），不实行管制；另一方面也说明，将靶材商品归类确定为子目8486.90项下是有法律依据的，主管部门也予以认可。

结束语

进出口货物的商品归类，应当按照《进出口税则》规定的目录条文和归类总规则、类注、章注、子目注释、本国子目注释，以及其他归类注释确定，并归入相应的税则号列。在进出口贸易中，商品归类是十分复杂的话题，争议也最多，有时是公说公有理，婆说婆有理。对此，海关妥当而合适的做法是依法办事，听取企业意见，正视企业呼声，认真接纳行业发展，与企业一同推动商品归类的调整与变化。而不是一味地，从自己的角度去给不认同、不服从海关的企业下违法的结论甚至冠以走私的罪名。

本文作者：上海兰迪（深圳）律师事务所主任 孙国东律师