台积电2nm泄密风波后续！传TEL社长亲赴台积电赔罪

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（来源：半导体前沿）

SEMICON Taiwan 2025 国际半导体展今（10）日在台北南港展览馆登场，此间日本 Tokyo Electron(TEL) 社长兼执行长河合利树来台。最新消息指出，他选择在新竹与台积电董事长暨总裁魏哲家私下会面，针对前员工涉2纳米技术泄密案，亲自表达歉意并提出后续善后方案。

根据台媒报道，台湾地区是TEL的重要市场，台积电更是其关键客户。 河合利树几乎每年9月都会亲自来台，不仅参与半导体展，还会出席SEMI论坛、科技晚宴等公开活动。

该报道提到，台积电内部人士透露，他实际上与魏哲家已有约定，并延续多年惯例拜会，只是今年会面焦点落在泄密事件的道歉与因应。至于具体善后措施，因为是闭门会谈，并未对外透露。

今年国际半导体展自今起至12日举行，以「Leading with Collaboration. Innovating with the World. 世界同行 创新启航」为主题，聚焦全球半导体产业趋势。 TEL虽正常参展，但因事件影响，低调取消以往的媒体产品与技术说明会。 至于河合利树是否会像往年现身展场，仍是外界高度关注的焦点。

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会议背景

电子特气是半导体制造中的关键材料，对芯片性能和良率有直接影响，是半导体制造的第二大耗材，占比约14%。2025年，中国电子特气市场规模近300亿，且保持每年10%的增长。

追随空气化工、林德、液化空气、大阳日酸等国际企业的步伐，国内电子特气企业金宏气体、华特气体、南大光电、中船特气和雅克科技等纷纷取得突破。国内企业已经在关键领域实现突破，产品进入台积电、美光、中芯国际等国际头部晶圆厂供应链。然而，高端前驱体和光刻气等仍依赖进口，国产化率低，具备很大的发展潜力。

2024年全球半导体金属/氧化物前驱体市场规模达17亿美元，同比增长15%。中国作为重要市场，亚化咨询预计2028年半导体前驱体市场将达12亿美元。主要受益于存储芯片及逻辑芯片先进制程的需求。伴随中芯、华润、华虹、长江存储、长鑫、等本土晶圆厂扩产，国产前驱体在纯度、定制化解决方案领域替代空间巨大。国内龙头企业雅克科技、南大光电、正帆科技发展迅速，厦门恒坤、上海至纯等在前驱体领域也不断推进。

2025电子特气与半导体前驱体论坛（AESG2025）将于11月5-6日在苏州召开。会议由亚化咨询主办，金宏气体等企业战略支持。将探讨电子特气与前驱体发展现状与趋势，搭建产学研平台，聚焦技术创新、工艺优化、供应链安全与合作，推动半导体核心材料跨越式发展。

会议主题

• 全球与中国半导体发展的材料需求

• 半导体特气国产化进程与高端市场突破

• 电子特气与前驱体在晶圆厂的认证

• 金属/金属氧化物/硅基前驱体与掺杂材料技术

• 从实验室到量产：电子气体与前驱体的产业化

• ALD/CVD前驱体材料的国产化现状与未来方向

• ArF/DUV/EUV光刻过程中的气体纯度与控制技术

• 光刻胶配套特气的协同创新机遇

• 电子特气与前驱体分析检测技术与设备

• 合成、提纯技术（如精馏、吸附）与设备

• 阀门与配套设备的本土化进展

• 安全性评估与储运标准体系建设

• 商务参观：金宏气体