河北
散英魂寄千万雄鹰翱翔神州，
尽智魄载十亿慧芯呼唤华夏。
01
前沿导读
据《日经亚洲》所发布的新闻报道称，中国到底能否制造出属于自己国家的ASML？
针对这个问题，引业内人士的分析指出，美国官员对于中国芯片实力的认知显得过于天真，中国多年前就已经囤积了许多来自于ASML的制造设备，因此不怕美国的制裁。这些设备给中国企业创造了机会，让中国企业有足够的时间去研发光刻机技术。
02
设备限制
对于除美国企业外的其他国际供应商，美国设置了最低限度的设备出口条例。依靠该条例，美国可以对其他国家的芯片供应商实施长臂管辖，一旦这些供应商的设备中使用了特定比例的美国技术，美国商务部就可以对整个设备的出口进行封锁。
这个最低限度通常设置为含有25%的美国技术，而ASML的EUV光刻机中所使用的技术大约90%都来源于欧洲，所以EUV光刻机在明面上并不符合美国最低限度的出口限制。
但是EUV光刻机的部分光源制造需要依靠美国圣迭戈的企业完成，这也给了美国收紧出口管制条例的理由。
中国企业在2018年向ASML订购了一台EUV光刻机，这台设备在国际层面是合法合规的采购订单，但是美国以国家安全为由，禁止ASML向中国交付这台具有美国企业参与的先进设备。2020年，荷兰政府迫于美国政府的压力，撤销了ASML向中国企业交付产品的许可。
从2020年开始，中国企业便不再被允许获得ASML的EUV设备。哪怕是韩国SK海力士在中国无锡的合资工厂，依然不被允许获得该设备。
虽然先进光刻机被封锁了，但是中国企业还可以订购到比EUV差一点的浸润式DUV光刻机。
根据ASML首席财务官罗杰·达森在2024年所发布的2023年财报数据显示，2023年ASML的中国区销售业务强劲，公司向中国企业交付了许多未被美国限制的DUV光刻机，这些光刻机大多数都是中国企业在2023之前大量采购的产品。
这些来自于ASML的DUV光刻机被中国企业应用到了成熟芯片的制造当中，但是中国企业却拿着这些设备造出来了先进芯片。
于是美国再次收紧制裁条例，ASML在未来将不会被允许将先进的浸润式光刻机，如NXT：2000i及以上的设备交付给中国大陆企业，甚至中国大陆的部分先进工厂还无法获得NXT：1970i和NXT：1980i这两个水平更差一些的设备。
03
突破制裁
据ASML前CEO彼得·温宁克在接受采访时表示，美国对中国的制裁，让ASML失去了一个潜在的增长市场，这对ASML来说是一个较为严重的打击。
美国不但切断了荷兰与中国的合作，而且美国政府还借此大力推动本土技术的发展，利用贸易份额从中获利，试图将中美之间的芯片差距进一步拉大。
虽然EUV设备已经被完全封锁，但是中国企业依然可以使用上一代的浸润式设备通过多重曝光的技术制造更加先进的芯片。这就好比一台印刷机，要在初版行间的空白处再次印刷额外的文字，使页面上面的内容翻倍。
这种技术需要更加先进的沉积设备以及刻蚀设备进行辅助，恰好中国企业在这些后端制造设备领域具有极强自主研发能力，北方华创、中微半导体、盛美半导体均开发出来了自主可控的后端制造设备。
甚至中微半导体制造的国产先进刻蚀机，已经被台积电采购过去投入到5nm及以下的芯片制造中。
至于技术难度更加困难的先进光刻机设备，中国企业也已经早就开始了技术攻坚，目前还未正式公布国产浸润式光刻机的相关信息。
ASML首席技术官马丁、首席战略官范霍特曾经在2018年与2019年访华，对中国的上海微电子公司进行技术访问。两人在访问中发现，虽然中国的光刻机产业所能拿出来的产品有限，并且技术水平落后，但是中国团队正在想办法攻克更加先进的浸润式技术和极紫外光技术。
中国企业早已经进行了两手准备，一来是在有限的时间内从ASML采购大量的设备，以此来保证中国企业拥有足够多的设备去制造芯片，不断提升团队在制造设备上面的技术经验。二来是聚集力量攻克先进的设备技术，中国企业手上的ASML设备，成为了他们技术破局的关键。
ASML早已经与中国企业签订合约，不会将先进的技术方法告知中国企业，只授权给中国企业使用设备的权利。但是中国团队的实力到底有多强，没有人知道，他们很可能在使用设备的过程中，将核心技术推导出来。
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