北京
金融界2025年8月20日消息，国家知识产权局信息显示，华芯程（杭州）科技有限公司申请一项名为“光刻模型的校准方法、装置、电子设备及存储介质”的专利，公开号CN120507945A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本申请实施例公开了一种光刻模型的校准方法、装置、电子设备及存储介质。该方案可以在掩模版上选取不同种类的标准图形及测试图形，以作为初始采样点，对光学模型中的参数进行调整，并根据调整后的光学模型对所述初始采样点进行光学模拟，得到模拟尺寸，将所述模拟尺寸与设计尺寸进行对比，根据对比结果对所述初始采样点进行筛选，以得到目标采样点，对所述目标采样点进行晶圆量测得到第一量测结果，并根据第一量测结果对所述光学模型和光刻胶模型进行校准。
天眼查资料显示，华芯程（杭州）科技有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1010.688237万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯程（杭州）科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息95条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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