金融界2025年8月20日消息,国家知识产权局信息显示,北京中材人工晶体研究院有限公司;中材人工晶体研究院有限公司申请一项名为“一种用于氧化镓晶体抛光加工的方法”的专利,公开号CN120503058A,申请日期为2025年07月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体材料加工技术领域,具体涉及一种用于氧化镓晶体抛光加工的方法,包括以下步骤:a) 表面预处理步骤,采用CF₄/O₂等离子体处理氧化镓晶体表面,形成GaF₃和Ga(OH)₃混合改性层;b) 主抛光步骤,在低温环境下,使用含有碳酸氢盐激活的过氧化氢系统的抛光液,结合超声波辅助,对预处理后的氧化镓晶体进行主要抛光;c) 精密抛光步骤,在更低温度环境下,使用较低压力和改良配方的抛光液对氧化镓晶体进行精密抛光;d) 清洗与后处理步骤,采用多级清洗工艺去除抛光残留物并修复表面缺陷,将材料去除率提高约2.3倍(达到1.2 μm/h),表面粗糙度Ra降低约2倍(达到0.09 nm)。
天眼查资料显示,北京中材人工晶体研究院有限公司,成立于2005年,位于北京市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本19016.682542万人民币。通过天眼查大数据分析,北京中材人工晶体研究院有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目100次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息130条,此外企业还拥有行政许可18个。
中材人工晶体研究院有限公司,成立于2000年,位于北京市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本22124.987112万人民币。通过天眼查大数据分析,中材人工晶体研究院有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目59次,专利信息106条,此外企业还拥有行政许可115个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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