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金融界2025年8月19日消息，国家知识产权局信息显示，皇家飞利浦有限公司申请一项名为“对准方法”的专利，公开号CN120513430A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种用于在基板共形压印光刻(SCIL)工艺期间将印模与基板对准的机构。包括第一衍射光栅的印模标记被定位在印模上，并且基板标记被定位在基板上。利用两束不同的光照射这两个标记。每个标记被配置为将相应形式的光(被所述标记接收的光)比另一标记按比例更多地朝向光传感器重新定向。
本文源自：金融界
作者：情报员
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