北京
金融界2025年8月15日消息，国家知识产权局信息显示，安徽晶微科技有限公司申请一项名为“改善线条直边与斜边线宽均匀性的方法”的专利，公开号CN120491398A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，一种改善线条直边与斜边线宽均匀性的方法包括步骤：S1，提供两张光刻流程前的产品片；S2，涂胶，采用相同涂胶条件，得两张涂胶片；S3，曝光，涂胶后的两张涂胶片采用多个分布的晶粒构成晶圆的版图曝光，得两张曝光片，针对两张涂胶片，采用斜边与相邻的直边连接位置处的线宽不同的版图，斜边经由渐缩边与相邻的直边连接，渐缩边作为斜边与相邻的直边连接位置，其余曝光参数相同；S4，显影，采用相同显影条件显影，得两张显影片；S5，选定晶粒，在选定晶粒的多个区域内收集线宽，确定斜边与相邻的直边连接位置处的线宽对晶粒内斜边与相邻的直边连接位置和不与斜边相邻的直边的线宽均匀性的影响并确定光刻流程的批量生产的优化参数和工艺。
天眼查资料显示，安徽晶微科技有限公司，成立于2025年，位于滁州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽晶微科技有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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