勇立创新潮头·上海产业菁英｜镭慎光电张佩：微米之间用创新刻下“中国精度”

在肉眼难辨的微尘世界，洁净环境监测事关半导体、生物制药、医疗卫生等行业自主可控。中国科学院上海光学精密机械研究所孵化的上海镭慎光电科技有限公司用8年时间潜心钻研，打响国产科技突围的“双线战役”——五年磨一剑，团队攻克0.1微米粒子计数器这一半导体制造的“工业天眼”，点亮国产之光；光学生物气溶胶实时监测仪，以“秒级响应”和抗干扰能力为生物安全织就“天网”，技术实力比肩国际顶尖水平。

在技术总监张佩带领下，镭慎光电以技术为根基，以市场需求为牵引，在精密检测细分领域执着深耕，不仅让企业产值8年增至10倍，更在保障集成电路产业链自主可控、提升公共卫生防护能力等关键节点打下坚实的国产化桩基。

薪火相传突破0.1微米探测幽暗

镭慎光电的创业史，代表着中国激光粒子计数器的发展史，也是几代中国科学家薪火相传的接力故事。

早在上世纪60年代，美国、日本的激光粒子计数器就实现产业化。到了90年代，海外品牌垄断全球市场，而国产产品在核心部件设计、探测精度、产品化进程方面明显滞后。在此背景下，上海光机所黄惠杰和团队开始钻研光散射理论，在他们的坚持下，国内首台激光尘埃粒子计数器终于在1990年问世。随后几年，科学家们致力于改进技术、提升探测精度，并成功研发出微型光学传感器。

2017年，张佩跟随老师黄惠杰创办镭慎光电，当时国内粒子计数设备还停留在检测0.3微米以上颗粒水平，而半导体产业对0.1微米级粒子检测设备的渴求已如暗流涌动，这种精度的粒子计数器是确保芯片制造超净环境的核心“眼睛”，却长期被国外垄断。

从0.3到0.1，涉及光学、机械、电子等多个学科的全方位突破，张佩坚定选择这条少有人走的路。创业前几年，他和研发团队泡在实验室，白天调试光学系统，晚上编写数据分析程序。资金、人员捉襟见肘，无法多线并行，只能选择一条技术路线埋头苦干。功夫不负有心人，创业5年后，国产设备第一次进入产线验证，努力终于获得回报。

百尺竿头更进一步，张佩带领团队进一步将0.1微米级技术应用到高压气体颗粒物检测，这项技术在集成电路、大宗气生产方面具有重要作用，全球仅有极少数企业掌握，而他们的努力填补了国内空白，做到高压下检测精度与国外产品持平，价格大幅降低。

科学家创业，“差一点都不行”

张佩的科研攻关，始终沿着“测尘”的核心能力展开。在攻克超细颗粒物探测难题的同时，镭慎光电坚持两条腿走路，基于张佩博士阶段研究的激光诱导荧光技术，突破微弱荧光检测难题，开发高灵敏度的光学生物气溶胶检测设备。

相较于传统微生物检测耗时数日的“培养法”，他们的技术实现“秒级”响应：利用特定激光激发微生物产生独特荧光，如同给无形的生物粒子贴上光学标签。然而，现实环境充满干扰，香烟烟雾、化妆品微粒、植物花粉都可能发出类似荧光，造成误报。

“光学检测就像在针尖上跳舞，差一点都不行。”为了抗干扰，张佩和团队开始了长达两年的技术攻关和产品验证，验证阶段更是近乎“自虐”，整日在实验室点燃香烟，喷洒各种香水、化妆品，让仪器长时间暴露在各种干扰源下测试。那段时间，不抽烟的张佩浑身上下满是烟味。最终，他们摸索出颗粒物散射光与荧光信号同步的“双光源”分析技术，这一突破成为关键转折。目前，该设备已广泛用于海关、机场、地铁站以及医院的生物气溶胶安全监控。

更广阔的蓝图也在徐徐展开——瞄准对无菌环境要求严苛的高端制药、智能手术室等领域，镭慎光电正加速赶超国外同行的脚步，提升双光源分析的监测精度、拓展应用场景。“借助人工智能，我们正在不断优化生物气溶胶的分类模型，提升抗干扰能力。国外已有跨国药企在验证相关快速检测技术，我们有信心用更短时间跑通这条路。”张佩透露，已有海外客户代理商慕名而来，这项设备和技术有望率先进入欧洲市场进行验证。

从不到10人的初始团队到40人研发梯队，从年营收不足300万元到突破3000万元，张佩和镭慎光电的成长轨迹，恰是中国精密制造突围的缩影。“技术是根，创新是魂。”牢牢守住这些细分领域的小器件，追光者们还将继续深入微观世界“无人区”，刻下更多“中国印记”。

人物小传

张佩，镭慎光电技术总负责人，在光学生物气溶胶监测技术和超细颗粒物光散射测量技术及应用研究方面拥有丰富经验和产品开发能力，不仅构建完善的研发管理体系，还带领团队取得一系列技术突破与商业成就。他在SCI与EI期刊上发表论文8篇，申请发明专利与实用新型专利10余项，登记软件著作权2项。入选2024年上海市东方英才计划青年项目。