北京
金融界2025年8月13日消息，国家知识产权局信息显示，厦门蚨祺自动化设备有限公司取得一项名为“一种晶圆崩边检测机构”的专利，授权公告号CN223217352U，申请日期为2024年06月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种晶圆崩边检测机构，其包括载台、第一检测相机、第二检测相机、第一光源、第二光源和第三光源，所述第一检测相机和第一光源位于载台的上方，所述第二检测相机和第二光源位于载台的下方，所述第三光源位于载台的侧边，所述第三光源的照射方向朝向载台设置。本实用新型通过第一检测相机和第一光源配合，第二检测相机和第二光源配合，可以检测晶圆边缘是否存在划痕及崩边缺口，通过在载台的侧边设置向其发光的第三光源，当晶圆放置在载台上时，通过第三光源照射晶圆的侧沿，可以凸显晶圆边缘不易被发现的裂纹，使其在第一检测相机或第二检测相机上能够清楚成像，进而保证晶圆外观检测的可靠性。
天眼查资料显示，厦门蚨祺自动化设备有限公司，成立于2016年，位于厦门市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门蚨祺自动化设备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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