67亿元订单压舱，11.7亿元募资出鞘，微导纳米强攻半导体设备，能啃下高端市场吗？

本文来源：时代商业研究院 作者：孙华秋

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作者|孙华秋

编辑|韩迅

8月3日晚，微导纳米（688147.SH）披露可转债募集说明书，拟募资11.7亿元，加码半导体设备领域。

作为横跨光伏与半导体两大赛道的核心装备厂商，微导纳米近年营收持续高速增长。这既得益于其在光伏ALD（原子层沉积）设备领域的扎实布局，也离不开半导体业务从技术突破到订单落地的加速破局。

如今，微导纳米在半导体设备领域再落重子，这一布局背后正释放出哪些深层产业信号：其战略重心向半导体设备领域倾斜的具体路径将如何铺展？又将为半导体设备行业竞争格局注入哪些新变量？

8月4日，就半导体产品、资本开支计划等问题，时代商业研究院向微导纳米发函并致电询问。但截至发稿，对方仍未回复相关问题。

【摘要】

1.光伏设备行业地位领先。在光伏领域，微导纳米ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。2024年，微导纳米的光伏设备收入为22.90亿元，同比增长52.94%，是核心增长动力。

2.半导体设备业务进入加速期。2024年，微导纳米的半导体设备业务收入达3.27亿元，同比激增168.44%，收入占比从2023年的7.27%提升至12.14%。目前，微导纳米正计划募资11.7亿元，加码半导体设备领域。

3.聚焦半导体业务攻坚进展。若微导纳米借助可转债募投项目实现半导体高端市场突破，叠加新兴领域业务逐步放量，业绩有望迎来量级跃升。建议重点跟踪微导纳米半导体设备验收进度、光伏装机节奏及新兴业务拓展成效。

在手订单超67亿元，光伏设备行业地位领先

微导纳米是一家聚焦全球市场的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，核心技术以原子层沉积（ALD）为支柱，构建了化学气相沉积（CVD）等多梯度真空薄膜技术产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，为下游客户提供全套设备、配套产品及服务。

在光伏设备细分领域，微导纳米已确立行业领先地位。作为国内首个将ALD技术规模化应用于光伏电池生产的企业，微导纳米的产品矩阵已覆盖PERC、TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等主流与新兴电池技术路线，涵盖ALD、CVD、炉管等关键设备，并与国内头部光伏厂商形成长期合作关系，是高效电池技术与设备领域的领军者之一。

当前，XBC、钙钛矿等新型电池技术凭借更高的理论光电转换效率加速崛起，随着成本下降与技术成熟，正逐步成为光伏新建产能的重要方向。

依托高研发投入，微导纳米在XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等领域形成了完善的技术储备，可覆盖电池生产整线关键工艺设备，相关产品已获得订单并实现出货。

2024年年报显示，根据公开的市场数据统计，在光伏领域，微导纳米ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。

财报显示，近年来，微导纳米的业绩保持高增长态势：营业收入从2021年的4.28亿元跃升至2024年的27亿元；归母净利润从2021年的4611万元增长至2023年的2.7亿元，2024年，受多重因素影响回落至2.27亿元。其中，2024年的光伏设备收入为22.90亿元，同比增长52.94%，是核心增长动力。

微导纳米在2024年年报中指出，营收大幅增长主要系报告期内公司光伏和半导体领域内的产品工艺覆盖度和技术水平的持续提升，获得客户验收的设备数量增长，前期在手订单陆续实现收入转化所致。

值得一提的是，截至2024年末，微导纳米的在手订单达67.72亿元，其中，光伏、半导体、新兴应用领域的在手订单分别为51.88亿元、15.05亿元、0.79亿元。

不过，受光伏产业链新增产能快速释放的影响，短期内市场出现供过于求的态势，光伏产业链各环节盈利水平整体承压，这也给微导纳米的业绩持续增长带来一定行业性挑战。

半导体设备业务成色如何？

随着人工智能、新能源汽车、数据中心等终端需求爆发，全球半导体产业正迎来结构性增长。AI驱动的先进制程迭代、3D封装等技术创新，以及HBM、GAA-FET等尖端芯片产能扩张，成为半导体设备市场的核心增长引擎。国内产业则在政策支持与产业链协同下，从制程追赶转向以新器件、新材料、新设备为突破口的格局重塑，打开全新成长空间。

在晶圆制造中，薄膜沉积设备与光刻、刻蚀设备并称为三大核心设备，承担着制备导电、绝缘等关键薄膜的重任，直接影响器件性能。据市场调研机构Maximize Market Research预测，2029年全球半导体薄膜沉积设备市场规模将达559亿美元，据此推算，国内市场规模将达162亿美元，成长空间显著。

值得一提的是，ALD技术在45nm以下节点，以及3D结构等先进半导体薄膜沉积环节具有良好的应用前景，是半导体设备中增速最快的细分领域之一。国际半导体装备与材料产业协会（SEMI）预测，2020—2025年，全球ALD设备市场年复合增长率将达26.3%，领跑各类晶圆生产设备。

微导纳米正是ALD这一赛道的关键突破者。该公司开发的国内首台量产型High-k ALD设备，成功应用于集成电路前道生产线，攻克了28nm制程高介电常数栅氧层薄膜这一核心工艺难题。在此基础上，微导纳米的技术版图持续拓展，已覆盖HKMG、3D NAND、3D DRAM等多场景的ALD工艺解决方案，并构建起以ALD为核心、化学气相沉积（CVD）等技术协同的产品体系。其CVD设备在硬掩膜等关键领域实现产业化突破，与ALD形成互补，共同支撑先进制程需求。

得益于核心技术突破，微导纳米的半导体业务已进入加速期。2024年，其半导体设备业务收入达3.27亿元，同比激增168.44%，收入占比从2023年的7.27%提升至12.14%；同期末，其半导体设备业务的在手订单同比大增65.91%，占比持续攀升，印证技术突破向市场认可的转化成效。

在此背景下，微导纳米计划募资11.7亿元，加码半导体设备领域，其中6.43亿元用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目，2.27亿元用于研发实验室扩建项目。这一举措旨在提升半导体设备量产能力，夯实技术壁垒，抢占国产替代份额。

在深耕半导体与光伏核心赛道的同时，微导纳米也在新兴领域布局前沿技术，为未来培育新的增长极。目前微导纳米已在光学、柔性电子、车规级芯片等潜力领域推进产业化验证，相应产品包括柔性电子领域的iSparol系列卷对卷原子层沉积系统、光学领域的iOptomic系列原子层沉积系统。不过，当前微导纳米新兴领域的订单规模尚小，仍处于培育阶段。

核心观点：聚焦半导体业务攻坚进展

微导纳米凭借对薄膜沉积技术的深耕，已构筑起“光伏筑基、半导体突围”的业务格局。从压力端来看，光伏行业周期性波动可能短期影响微导纳米的现金流稳定性，其在半导体设备领域则仍面临国际头部厂商技术壁垒，而光学、车规级芯片等新兴业务尚处订单培育期。

展望未来，若微导纳米借助可转债募投项目实现半导体高端市场突破，叠加新兴领域业务逐步放量，业绩有望迎来量级跃升。建议重点跟踪微导纳米半导体设备验收进度、光伏装机节奏及新兴业务拓展成效。

（全文2655字）

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