北京
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据报道，河南东微电子材料有限公司宣布其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件正式通过中芯国际和长鑫存储的严格认证。这标志着中国半导体产业链国产化进程中取得重要突破。2021年12月，国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年版）》明确将光刻机用直线电机列为关键“卡脖子”项目。东微电子组建技术攻坚团队，历经多年研究，对标国际顶尖水平，解决了国产痛点。直线电机是光刻机运动平台的核心零部件，其性能直接影响定位精度和运动稳定性，随着芯片制程进入纳米时代，直线电机成为唯一选择。东微电子的这一突破有助于打破国外技术垄断，推动中国半导体产业自主发展。
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