光刻气双雄格局成型！华特中船破局国际认证，国产替代攻入核心区

缪舢/文

一家日本高端光刻激光设备关键企业的最新认证，正在改写中国特种气体产业的竞争版图。

8月5日，中船特气（688146）宣布其光刻气产品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）获得日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证，有效期直至2030年。这一认证不仅是一家公司里程碑式的突破，更折射出中国光刻气产业从“单点突围”迈向“集群崛起”的关键信号。

GIGAPHOTON：光刻产业链的技术明珠

日本GIGAPHOTON株式会社成立于2000年，专注深紫外（DUV）及极紫外（EUV）光刻光源技术，是全球仅有的两家能提供高端光刻激光设备的企业之一，另一家Cymer已被ASML收购。GIGAPHOTON光源设备需匹配纯度达6N级（99.9999%）以上的光刻气体，此前全球仅林德、法液空等国际巨头能稳定供应。

此次中船特气通过GIGAPHOTON认证，标志着国产光刻气纯度首次满足EUV级制造要求，为打入3nm以下先进制程供应链奠定基础。

华特气体：不可撼动的先行者

不过，在光刻气细分领域，华特气体（688268）技术突破更早，始终保持着技术领先与认证纪录。

资料显示，2014年华特气体在光刻气领域实现技术突破，2016年量产相关产品，并于2017年正式通过ASML认证，这一纪录一直保持至今未被打破，是国内唯一通过ASML认证的光刻气厂商。2021年10月，华特气体发布公告，宣布公司四款光刻气产品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne等）均通过了日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证。由此，华特气体的光刻气产品成为国内唯一同时拥有ASML+GIGAPHOTON双认证的国产企业。

凭借先发优势，华特气体已进入英特尔、美光等国际大厂供应链，国内市占率稳居第一。

双雄竞合：差异化路径下的国产合力

值得关注的是，中船特气与华特气体已形成差异化互补型突破格局。华特气体以ASML认证为支点，作为ASML体系内唯一中国气体商，打通晶圆厂终端客户；中船特气则依托中船集团资源，聚焦DUV/EUV光刻气高端品类，此次认证后有望切入东京电子、应用材料等设备厂商供应链。

中船特气此次获得日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证，对国产光刻气行业的深层影响远超单家企业获益。不仅为后续国产气体企业提供技术范本，缩短认证周期，而且华特气体与中船特气双巨头格局下国产成本优势势必挤压外企溢价空间，争夺此前被日美企业垄断光刻气定价权。

从华特气体8年前首获ASML认证，到现在中船特气攻克GIGAPHOTON，从单点突破到系统破局，也正是中国光刻气从“替代进口”迈向“定义标准”的转折点。在光刻气“卡脖子”技术大战的背景下，华特气体与中船特气双巨头竞合态势形成，和随后更多的中国企业相继突破，光刻气本土供应链的黄金时代才真正开启。