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金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“用于缺陷检验灵敏度增强的成像路径偏振控制的方法”的专利，公开号CN120418642A，申请日期为2024年04月。
专利摘要显示，本发明提供用于检验光掩模的方法及系统。一种系统包含经配置以将光引导到所述光掩模的照明子系统。所述系统还包含光瞳滤光片，所述光瞳滤光片定位于仅来自所述光掩模的所述光的路径中，且经配置用于通过以相干方式混合所述光掩模的琼斯矩阵中的四个元素来控制所述路径中的所述光的偏振。另外，所述系统包含检测器，所述检测器经配置用于检测来自所述光瞳滤光片的所述光且响应于所述经检测光而产生输出。所述系统进一步包含经配置用于基于所述输出来检测所述光掩模上的缺陷的计算机子系统。
本文源自：金融界
作者：情报员
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