北京
金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，中科院南京天文仪器有限公司申请一项名为“一种基于双硅金键合MEMS变形镜及其制备方法”的专利，公开号CN120405938A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基于双硅金键合MEMS变形镜及其制备方法，所述MEMS变形镜包括硅片衬底、氮化硅绝缘层、下层多晶硅电极、第一磷硅玻璃牺牲层、上层叉指电极、第一键合电极层、SOI片结构、第二键合电极层、金基反射镜面。其制备方法依次经过硅片衬底预处理、氮化硅绝缘层沉积、下层多晶硅电极形成、第一磷硅玻璃牺牲层沉积与减薄、上层叉指电极及相关结构刻蚀、第一键合电极层形成、SOI片预处理与溶液通道形成、第二磷硅玻璃牺牲层填充、第二键合电极层形成、金与金热压键合、深硅刻蚀、结构释放与退火处理、金基反射镜面制备与封装。
天眼查资料显示，中科院南京天文仪器有限公司，成立于2001年，位于南京市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3856万人民币。通过天眼查大数据分析，中科院南京天文仪器有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目256次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息147条，此外企业还拥有行政许可21个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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