金融界2025年7月17日消息,国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆自动刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质”的专利,公开号CN120306302A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本申请公开一种晶圆自动刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质,包括:获取晶圆刷洗装置的设备参数和用于对晶圆进行刷洗的第一控制参数;根据晶圆刷洗装置的设备参数和第一控制参数,确定根据第一控制参数控制晶圆刷洗装置对晶圆进行刷洗时晶圆各区域在对应的重复周期内被刷洗的次数;若晶圆各区域在对应的重复周期内被刷洗的次数满足参数更新条件,则对第一控制参数进行更新,获得第二控制参数,以根据第二控制参数控制晶圆刷洗装置对晶圆进行刷洗时,晶圆各区域在对应的重复周期内被刷洗的次数不满足参数更新条件。
天眼查资料显示,华海清科股份有限公司,成立于2013年,位于天津市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目227次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息689条,此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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