北京
金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“安全互锁控制装置、半导体工艺设备及其控制方法”的专利，公开号CN120291054A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本申请公开了一种安全互锁控制装置、半导体工艺设备及其控制方法，以降低电路设计复杂度，减少元器件的数量，并降低设备成本。安全互锁控制装置包括：压力触发模块、多个继电器和控制模块；控制模块包括多个第一输出引脚和多个第二输出引脚；压力触发模块，用于在工艺腔室的压力值小于预设压力值时，控制各继电器的触点闭合，以使得第二输出引脚和对应的第二电磁阀连通；在工艺腔室的压力值大于或者等于预设压力值时，控制各继电器的触点断开，以使得第二输出引脚和对应的第二电磁阀断开。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1091次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
