北京
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，湖北星辰技术有限公司取得一项名为“一种晶圆处理装置”的专利，授权公告号CN223087914U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本申请提供一种晶圆处理装置，涉及半导体制造技术领域，包括具有反应腔的炉管，反应腔用于放置沿炉管的高度方向依次排布的多个晶圆，确保每个晶圆均匀地暴露在反应气体的环境中。在炉管的侧壁开设有包括多个进气孔的进气孔组以及排气孔组，进气孔组中的多个进气孔沿炉管的高度方向依次排布，进气孔组中的多个进气孔经反应腔与排气孔组连通，使得反应气体通过不同高度的多个进气孔进入反应腔的不同高度处，从而在反应腔内形成一个均匀的流动环境，使得每个高度位置的晶圆都可以与反应气体均匀接触并进行薄膜沉积，随后，通过排气孔组将未与晶圆反应的反应气体排出反应腔，此设计有效地防止了晶圆的薄膜沉积厚度不一致的问题。
天眼查资料显示，湖北星辰技术有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本2935.8218万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北星辰技术有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可16个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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