北京
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“硅片测量装置及其工作方法”的专利，公开号CN120212916A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提供了一种硅片测量装置及其工作方法，属于半导体制造技术领域。硅片测量装置，包括：温度控制腔室，被配置为容纳待测量的硅片和用于对所述硅片进行测量的干涉仪；设置在所述温度控制腔室中的温度传感器，被配置为实时采集所述温度控制腔室内的温度；温度控制组件，被配置为向所述温度控制腔室提供目标温度的气流；控制单元，被配置为接收所述温度传感器的温度，根据所述温度传感器采集的温度控制所述温度控制组件向所述温度控制腔室通入目标温度的气流，以对所述温度控制腔室的温度进行调控。
天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次，专利信息1278条，此外企业还拥有行政许可24个。
西安欣芯材料科技有限公司，成立于2022年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析，西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目153次，专利信息116条，此外企业还拥有行政许可21个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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