北京
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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“用于检测衬底状态的装置和方法”的专利，公开号CN120221437A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本公开提供了用于检测衬底状态的装置和方法。用于检测衬底状态的装置包括：衬底传送单元，传送衬底；传感器单元，包括一个或多个传感器阵列，并检测在设置有一个或多个传感器阵列的位置中存在或不存在衬底；以及检测单元，检测衬底的对准状态。
本文源自：金融界
作者：情报员
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