金融界2025年6月27日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“缺陷检测设备的优化方法、装置、设备、程序产品及介质”的专利,公开号CN120221428A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明提供了一种缺陷检测设备的优化方法、装置、设备、程序产品及介质,属于半导体技术领域。包括:确定缺陷检测设备中光源的目标位置;在所述光源位于所述目标位置的情况下,基于所述缺陷检测设备,对至少一个晶圆样片进行缺陷检测,获得所述至少一个晶圆样片对应的第一缺陷检测数据,其中,所述晶圆样片为已知缺陷特征的标准晶圆样品;将所述第一缺陷检测数据和所述至少一个晶圆样片对应的已知缺陷特征进行比对,获得比对结果;根据所述比对结果,调整所述缺陷检测设备的工作参数。
天眼查资料显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司,成立于2016年,位于西安市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目3次,专利信息1285条,此外企业还拥有行政许可24个。
西安欣芯材料科技有限公司,成立于2022年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析,西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目153次,专利信息116条,此外企业还拥有行政许可21个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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