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金融界2025年6月25日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN120199700A，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，根据本发明的一实施例的基板处理装置的特征在于，包括：腔室，在内部提供用于基板处理的处理空间；基板支承单元，配置于所述腔室内部；微波单元，用于向所述处理空间供应微波；以及偏振片，设置于所述腔室侧壁，并使第一偏振的微波反射且使第二偏振的微波透射。
本文源自：金融界
作者：情报员
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