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金融界2025年6月20日消息，国家知识产权局信息显示，上海盛剑半导体科技有限公司申请一项名为“控制吹扫气体供给的方法、控制器、真空泵系统以及计算机可读存储介质”的专利，公开号CN120175623A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明的实施例提供了一种控制吹扫气体供给的方法、控制器、真空泵系统以及计算机可读存储介质，涉及真空技术领域。该方法能够通过检测电机的电流变化，切换电磁阀至不同位置，从而对通入真空泵系统的吹扫腔室内的吹扫气体流量适应性调节，从而在不同工况下，确保吹扫腔室的气压始终大于真空腔和油箱中气压，从而确保真空腔的气体或工艺制成物不会向油箱中迁移，同时确保油箱内的油气也不会向真空腔内迁移。
天眼查资料显示，上海盛剑半导体科技有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本11750万人民币。通过天眼查大数据分析，上海盛剑半导体科技有限公司参与招投标项目5次，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可32个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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