北京
金融界2025年6月18日消息，国家知识产权局信息显示，苏州皓申智能科技有限公司申请一项名为“一种光刻胶涂布方法及涂布治具”的专利，公开号CN120155347A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明涉及一种光刻胶涂布方法及涂布治具，包括如下步骤：喷头对基板进行预喷涂，获取基板喷涂点中心和喷涂点边缘的光刻胶厚度；对光刻胶进行稀释，得到光刻胶的稀释溶液，对稀释溶液施加高频微振动，得到降低表观黏度的稀释溶液；将基板上相邻喷涂点之间的距离设置为等于喷涂点中心到中间点的距离的两倍，其中，中间点位于喷涂点中心与喷涂点边缘之间，且中间点的光刻胶厚度为喷涂点中心的光刻胶厚度的二分之一；增加喷涂环境的气压，利用上述喷头将降低表观黏度的稀释溶液喷涂在基板的多个喷涂点上，完成喷涂。本发明有效解决了基板尤其是不规则基板边缘光刻胶厚度不均的问题，提高了基板光刻胶涂布层的均匀度，从而提高了产品的良率。
天眼查资料显示，苏州皓申智能科技有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本696.2529万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州皓申智能科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息26条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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